（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201410599984.X （22）申请日 2014.10.31
（71）申请人 陕西盛迈石油有限公司
地址 710065 陕西省西安市高新区沣惠南路36号橡树街区1号楼10610室
（10）申请公布号 CN105632887A
（43）申请公布日 2016.06.01
（72）发明人 王耀斌
（74）专利代理机构 西安亿诺专利代理有限公司
代理人 刘斌
（51）Int.CI
H01L21/02;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种光刻板清洗方法
（57）摘要
本发明涉及光刻板的清洗领域，具体涉及
一种光刻板的清洗方法。一种光刻板清洗方法，包括以下步骤：进行40s的丙酮刷洗工艺；15s的IPA清洗；步骤3：30s的DI水清洗；45s吹干，进行干燥；经承载光刻板的卡盘停止旋转，取走光刻板，置于翻转机构上，将光刻板翻转后，将背面朝上的光刻板取走，并进行背面的清洗，并同时进行第二块光刻板的正面的清洗，依
次进行所有的光刻板的清洗工作。本发明提出的光刻板清洗方法简单易操作，使用其清洁后，洁净度高，工艺效果理想，工艺参数稳定，自动化程度高，批量处理能力强，适合大规模推广使用。
法律状态
法律状态公告日
2016-06-01 2016-06-01 2018-05-18
法律状态信息
公开 公开
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
公开 公开
发明专利申请公布后的视为撤回
权利要求说明书
一种光刻板清洗方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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