专利名称：虚拟RF传感器专利类型：发明专利
发明人：亚伦·T·瑞多姆斯基,丹尼斯·M·布朗,尼古拉斯·纳尔逊申请号：CN201480014768.2申请日：20140103公开号：CN105103661A公开日：20151125
摘要：射频(RF)产生系统包括接收RF电压和RF电流的阻抗确定模块。阻抗确定模块还基于RF电压和RF电流确定RF产生器阻抗。RF产生系统还包括基于RF产生器阻抗确定多个电气值的控制模块。RF产生系统还基于RF产生器阻抗和多个电气部件来匹配负载的阻抗。匹配模块也基于多个电气值来确定二端口传递函数。RF产生系统还包括基于RF电压、RF产生器、RF产生器阻抗和二端口传递函数来估计负载电压、负载电流和负载阻抗的虚拟传感器模块。
申请人：MKS仪器有限公司
地址：美国马萨诸塞州
国籍：US
代理机构：北京德琦知识产权代理有限公司
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