专利名称：一种超薄铁镍合金材料及其制造方法专利类型：发明专利发明人：疏华
申请号：CN202011304528.X申请日：20201119公开号：CN112322993A公开日：20210205
摘要：本发明公开了一种超薄铁镍合金，包含以下组分：按质量分数计，Ni
35~37%，Mn≤0.5%，C≤0.01%，Si≤0.03%，P≤0.01%，Al≤0.03%，Mg≤40ppm，S≤40ppm，N≤30ppm，O≤30ppm，还可包括Cu≤0.3%，V≤0.03%，Ti≤0.03%，余量为Fe。所述铁镍合金材料的制造方法，过程如下：按前述配方取各组分，熔炼、煅烧制备板材坯料；对板材坯料进行热轧加工，直至板材厚度为2~6mm，热轧后板材自然冷却至室温；室温下，对热轧后的板材进行冷轧，冷轧后通过重结晶退火降低材料强度，重复进行若干次冷轧与重结晶退火的操作；再进行一次冷轧，使板材厚度达到0.015~0.05mm，然后进行非重结晶退火操作。本发明提供的超薄铁镍合金制造方法，通过优化热处理工艺，降低铁镍合金在轧制过程中产生的内应力，不会产生明显的翘曲和变形，满足精细金属掩膜版的品质要求。
申请人：苏州钿汇金属材料有限公司
地址：215600 江苏省苏州市张家港市杨舍镇人民东路11号(华昌东方广场)Z1004
国籍：CN
代理机构：南京纵横知识产权代理有限公司
代理人：董建林
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