（12）实用新型专利
（21）申请号 CN201920490708.8 （22）申请日 2019.04.12 （71）申请人 深圳大学
地址 518000 广东省深圳市南山区南海大道3688号
（10）申请公布号 CN210481501U
（43）申请公布日 2020.05.08
（72）发明人 黄传威;魏思聪;廖肇龙
（74）专利代理机构 温州知远专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 汤时达
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口
（57）摘要
本实用新型涉及材料工程技术领域，且公
开了一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，包括闸板阀，所述闸板阀顶部的一侧设有真空密封口，所述真空密封口的顶部设有固定螺丝，所述真空密封口内腔的顶部设有激光入射玻璃窗口。该一种用于脉冲激光沉积系统中可拆卸的激光入射密封窗口，通过采用可拆卸的激光玻璃密封窗口装置，能够在不破坏真空腔体内部的气体氛围的条件下，将激光玻璃密封窗
口拆卸下来，实现对玻璃窗口的高效清洁，解决了在脉冲激光沉积技术中存在的激光入射玻璃难以清洗的问题，确保了高质量的入射激光能透过玻璃窗口进入腔体。
法律状态
法律状态公告日
2020-05-08
法律状态信息
授权
法律状态
授权
权利要求说明书
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说明书
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