专利名称：晶圆研磨装置高速研磨头专利类型：实用新型专利发明人：陈琳
申请号：CN201822215196.2申请日：20181227公开号：CN209681910U公开日：20191126
摘要：一种晶圆研磨装置高速研磨头，它涉及化学机械研磨技术领域。它包含研磨头主体、气压板、研磨头隔膜、研磨头主轴、晶圆、研磨垫、弹性限位机构、润滑油导入机构、润滑油导出机构、气体管、气压室、滑槽，所述研磨头主体是一个倒凹形主体，所述研磨头主体的上方设置有研磨头主轴，所述研磨头主体通过研磨头主轴与研磨装置固定连接，所述倒凹形的研磨头主体的两侧主体内设置有滑槽，所述气压板两侧设置有滑块。本实用新型有益效果为：通过在研磨头内的滑槽内设置有润滑油，可以使气压板的滑块和滑轮在滑槽内移动的更加的顺滑和快捷，提高晶圆研磨的速度，设置有限位机构更好的保护了晶圆。
申请人：苏州美法光电科技有限公司
地址：215000 江苏省苏州市吴中区越溪吴中大道2288号7幢B3栋102
国籍：CN
代理机构：苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)
代理人：刘计成
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