专利名称：一种二氧化碳气体纯化器专利类型：实用新型专利发明人：江晓松
申请号：CN201820833246.0申请日：20180531公开号：CN208553607U公开日：20190301
摘要：本实用新型公开了一种二氧化碳气体纯化器，属于二氧化碳气体纯化技术领域。它包括纯化罐本体和外壳本体，纯化罐本体套设在外壳本体的内侧，纯化罐本体的外部套设有陶瓷加热圈，陶瓷加热圈和外壳本体之间设有铝箔圈，铝箔圈和陶瓷加热圈之间设有绝热棉，铝箔圈和外壳本体之间开设有空腔，所述外壳本体的顶部和底部分别固定连接有上封头和下封头，上封头的顶部固定连接有管路夹块，管路夹块的顶部分别设有工艺气入口管和工艺气出口管。采用陶瓷加热圈、铝箔圈、绝热棉、外壳本体、上封头和下封头的结构，来解决普通工业级4N二氧化碳纯化效果不佳的问题。
申请人：先普半导体技术(上海)有限公司
地址：201108 上海市闵行区金都路4299号6号楼6224室
国籍：CN
代理机构：上海怡恩专利代理事务所(普通合伙)
代理人：牟俊玲
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