专利名称：低温泵专利类型：实用新型专利发明人：刘锦东,孔庆武,郭雄飞申请号：CN201720798098.9申请日：20170703公开号：CN207111346U公开日：20180316
摘要：本实用新型公开了一种低温泵，包括：泵壳，泵壳包括抽吸口；冷头，冷头设在泵壳内；屏蔽件，屏蔽件设在泵壳内且外罩在冷头上；挡板，挡板设在抽吸口处，挡板包括气体通道，气体通道具有入口和出口，在泵壳的横截面上，挡板的正投影面完全覆盖抽吸口的正投影，气体通道包括相交的第一部分和第二部分，第一部分的一端限定出入口，第二部分的一端限定出出口。根据本实用新型的低温泵，通过设置挡板使在泵壳的横截面上挡板的正投影面完全覆盖抽吸口的正投影、挡板上的气体通道包括相交的第一部分和第二部分，从而避免真空腔室的热辐射直接穿过挡板，保持了低温泵内的低温状态，提升了低温泵的抽吸能力。
申请人：京东方科技集团股份有限公司,鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司
地址：100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
国籍：CN
代理机构：北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人：黄德海
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