专利名称：MEMS镜组件和用于制造MEMS镜组件的方法专利类型：发明专利
发明人：汉斯·约阿希姆·昆策尔,乌尔里希·霍夫曼,瓦妮莎·施
滕希利
申请号：CN201880049871.9申请日：20180725公开号：CN110959130A公开日：20200403
摘要：本发明涉及一种用于检测直至180°，优选地直至160°的大角度范围的MEMS镜组件，以及一种用于制造MEMS镜组件的方法。该镜组件包括：承载基底(1)，其上安装有围绕至少一个轴振动的镜(2)；透明盖(4)，其以气密密封的方式连接到承载基底(1)，并且包括具有基本圆形的基面的椭圆形圆顶(6)；以及补偿光学系统(8)，其布置在圆顶(6)外部用于入射光束的预定光束路径中。镜(2)的中部位于圆顶的中心点，补偿光学系统(8)以这样的方式对入射光束进行准直：使得由圆顶的边界表面引起的光束的发散或会聚在从圆顶(6)射出后被基本地补偿。通过将覆盖晶片和镜晶片进行接合来制造MEMS镜组件，覆盖晶片和镜晶片各自包括安装在承载基底上的多个半球形圆顶和镜。然后将镜组件与接合的晶片分离。覆盖晶片的圆顶通过玻璃流动工艺制造。
申请人：弗劳恩霍夫应用研究促进协会
地址：德国慕尼黑市
国籍：DE
代理机构：北京同立钧成知识产权代理有限公司
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