专利名称：光栅组微位移传感器专利类型：实用新型专利发明人：王晨,白剑,杨恺伦,汪凯巍申请号：CN201420675174.3申请日：20141113公开号：CN204128506U公开日：20150128
摘要：本实用新型公开了一种光栅组微位移传感器，它包括包括光源、分束器、第一光栅层、第二光栅层、增反层、第一红外光电探测器、第二红外光电探测器、第一固定底座、第二固定底座、回形悬臂梁、上层电容平板、下层电容平板、信号处理模块和电流驱动模块。本实用新型依据伍德异常现象，利用两层光栅位移时，反射光产生脉冲式变化的现象，通过在两光栅层制作多组光栅，每组光栅中上下两层光栅初始相对位置的不同设定，使得每组光栅产生脉冲式变化对应的上下两层光栅的微位移量不同，从而对位移信号细分，测量位移。本实用新型实现了传感系统的小型化，精度高，在航空、军事领域都有很广泛的应用前景。
申请人：浙江大学
地址：310058 浙江省杭州市西湖区余杭塘路866号
国籍：CN
代理机构：杭州求是专利事务所有限公司
代理人：邱启旺
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