专利名称：扫描电子显微镜专利类型：发明专利
发明人：大泷智久,安岛雅彦,伊东佑博,大沼满,小町章申请号：CN201080031156.6申请日：20100720公开号：CN102473577A公开日：20120523
摘要：本发明想要解决的课题在于，在将电子显微镜主体、排气系统、包括电源及空气冷却风扇的控制系统设置在一个底板上的台式电子显微镜中，获得更高分辨率的图像。本发明是将电子显微镜主体、对电子显微镜主体的内部进行排气的排气系统、及上述电子显微镜主体的控制系统配置在由底板及罩包围而成的空间内部的电子显微镜，其特征在于，上述控制系统配置在上述底板上，在上述底板上具有开口部，上述电子显微镜主体借助于通过上述开口部的缓冲器设置在设置有上述底板的地面上。通过防止由空气冷却风扇等装置内部产生的振动传播到电子显微镜主体，能够获得更高分辨率的观察图像。
申请人：株式会社日立高新技术
地址：日本东京都
国籍：JP
代理机构：北京银龙知识产权代理有限公司
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