专利名称：石英玻璃的制造方法及石英玻璃的制造装置专利类型：发明专利
发明人：井上大,长尾贵章,小出弘行申请号：CN200910165031.1申请日：20090720公开号：CN101633552A公开日：20100127
摘要：本发明公开一种石英玻璃的制造方法，是使用1个以上的燃烧器，在向该燃烧器供给氧和氢生成的氢氧火焰中导入硅化合物，堆积由于火焰水解反应生成的二氧化硅，形成多孔质母材，将该多孔质母材加热及烧结，形成透明玻璃的石英玻璃的制造方法，其特征为：对燃烧器供给以常温制造或者储藏的氢；使用以气体的热容测量作为测量原理的测量装置或控制装置控制该氢的流量；把用低温贮槽储藏的液体氢汽化作为备用氢提供给燃烧器，将氢转换成备用氢，转换时，即将被转换的氢流量乘以预先设定的校正系数，调整氢的流量。
申请人：信越化学工业株式会社
地址：日本东京千代田区大手町2丁目6-1号
国籍：JP
代理机构：深圳新创友知识产权代理有限公司
代理人：江耀纯
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