专利名称：一种铝钛硅合金靶材及其制备方法专利类型：发明专利发明人：余鹏
申请号：CN201110298811.0申请日：20110929公开号：CN102321833A公开日：20120118
摘要：一种铝钛硅合金靶材及其制备方法，该铝钛硅合金靶材由以下质量百分比的原料制成：铝5%－90%，钛5%－90%，硅1%－30%。本发明还包括铝钛硅合金靶材的热压烧结制备方法。本发明之铝钛硅合金靶材及其热压烧结制备方法，合金成分均匀，合金靶材相对密度高，工艺流程短，生产成本低，利于推广使用。
申请人：余鹏
地址：410008 湖南省长沙市开福区湘雅路110号附1号学院1栋702号
国籍：CN
代理机构：长沙星耀专利事务所
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