专利名称：用于抑制热吸收的光掩模基板和光掩模专利类型：发明专利发明人：河泰中
申请号：CN201910124028.9申请日：20150204公开号：CN109946920A公开日：20190628
摘要：一种光掩模基板和/或光掩模，包括：透光衬底；被设置在所述透光衬底上的高反射材料层；以及被设置在所述高反射材料层上的转移图案层。所述高反射材料层以预设的反射率反射光，以透过所述透光衬底。
申请人：爱思开海力士有限公司
地址：韩国京畿道
国籍：KR
代理机构：北京弘权知识产权代理事务所(普通合伙)
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