专利名称：一种绒面AZO薄膜的制备方法专利类型：发明专利
发明人：沈洪雪,姚婷婷,杨勇,李刚申请号：CN201711415267.7申请日：20171225公开号：CN108165939A公开日：20180615
摘要：本发明公开一种绒面AZO薄膜的制备方法，包括以下步骤：S1、采用熔融法制备超白玻璃，在超白玻璃出炉过程中,采用表面具有绒面结构的模板对超白玻璃表面进行压模，得到表面具有绒面结构的超白玻璃；S2、将制得的超白玻璃进行钢化、切割、清洗工序得到表面具有绒面结构的玻璃基片；S3、将玻璃基片作为衬底，通过磁控溅射在玻璃基片的绒面沉积AZO，得到绒面AZO薄膜；本方法无需酸蚀刻步骤，降低薄膜的制备成本，避免环境污染；AZO薄膜的绒面由表面具有绒面结构的模板决定，能够有效地控制绒面；绒面AZO薄膜的质量容易控制，性能稳定，重复性好。
申请人：中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司
地址：233010 安徽省蚌埠市禹会区涂山路1047号
国籍：CN
代理机构：安徽省蚌埠博源专利商标事务所
代理人：陈俊
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