薄膜太阳能电池板项目
环境影响报告书
(简本)
深圳市环境科学研究所 二OO八年八月
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目 录
第一章 总 论 ........................................... 1 1.1 任务来源 ..................................................... 1 1.2环境保护目标 ................................................. 1 1.3 评价标准 ..................................................... 2 1.4 评价重点 ..................................................... 4 1.5 评价工作等级 ................................................. 4 1.6 评价范围 ..................................................... 5 第二章 项目概况及工程分析 ................................ 7 2.1 建设项目基本情况 ............................................. 7 2.2 生产工艺 ..................................................... 8 2.3污染源分析 .................................................. 10 第三章 环境影响分析及评价 ............................... 17 3.1 水环境影响评价 ............................................. 17 3.2 大气环境影响 ................................................ 19 3.3 环境噪声影响 ................................................ 21 3.4 固(液)体废物环境影响 ........................................ 22 第四章 环境保护措施 .................................... 23 4.1 废水治理措施分析 ............................................ 23 4.2 废气治理措施可行性分析 ...................................... 24 4.3 噪声污染防治对策分析 ........................................ 25 4.4固体废物污染防治对策分析 .................................... 26 4.5电磁辐射防治对策分析 ........................................ 26 4.6生态保护及绿化措施 .......................................... 27
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第一章 总 论
1.1 任务来源
杜邦公司是一家以科研为基础的全球性企业，提供能提高人类在食物与营养，保健，服装，家居及建筑，电子和交通等生活领域的品质的科学解决之道。杜邦公司成立于1802年，在全球70个国家经营业务，共有员工79,000多人。本项目是杜邦中国有限公司通过全资子公司权威发展有限公司（将改称为杜邦太阳能有限公司）在深圳投资成立杜邦太阳能（深圳）有限公司。投资额9000万美元，注册资金3000万美元。从事太阳能电池板及其相关产品的研究、开发、生产、销售及有关技术服务。该项目不仅可满足国内对薄膜太阳能电池的需求，对我国光伏产业的发展起到巨大的推动作用，也将为杜邦中国有限公司提供参与太阳能国际市场竞争的机会。
根据我国建设项目环境保护管理的有关法规，本项目需编制环境影响报告书。2008年7月，杜邦太阳能（深圳）有限公司委托深圳市环境科学研究所承担该项目环境影响评价报告书编制任务。我所接受委托后，在对建设地区环境现状进行了详细的调查与监测的基础上，对该项目的工程内容、生产工艺、主要原辅材料用量及能源消耗、污染物排放的环节、源强以及现有项目污染物排放情况等进行了认真的分析，分析和预测了本项目对周围环境产生的影响程度和范围，评价污染防治措施的效果，并提出相应环保对策，按照项目环境影响评价技术导则，编制了本项目环境影响报告书。
1.2环境保护目标
(1)地表水：本项目废水排放的受纳水体——茅洲河的水体功能不受影响。 (2)大气：本项目周边的木墩村等保护目标不受本项目外排废气污染的影
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响。
(3)噪声：木墩村村民居住区等不受本项目噪声的干扰影响。 (4)固体废物：项目建设和运营期间产生的固体废物不污染周边环境。 本项目周边主要环境敏感点为位于项目北面的木墩村，距离项目北厂界约70米。
1.3 评价标准
本项目环评拟执行的环境质量标准、污染物排放标准以及主要污染物限值汇总见表1-1。
表1-1评价标准及主要常规污染物标准限值
类别 序号 环境因素 执行标准 污染 因子 pH 环 境 质 量 标 准 3 污 染 物 排 放 1 废 水 《水污染物排放限值》(DB44/26-2001)三级标准(第二时段) 2 环 境 空 气 声 《环境空气质量标准》 (GB3095-1996)二级标准 (2001年1月6日修改) 《城市区域环境噪声标准》 (GB3096-93)3类标准 1 地 表 水 环 境 《地表水环境质量标准》 (GB3838-2002) Ⅲ类水域标准 BOD5 CODCr 氨氮 总磷 石油类 阴离子表面活性剂 TSP 二氧化氮 二氧化硫 LeqA pH CODCr BOD5 氨氮 SS 标准限值 6-9 4 mg/L 20 mg/L 1.0 mg/L 0.2 mg/L 0.05 mg/L 0.2 mg/L 0.30mg/m3 0.12mg/m3 0.50mg/m3 0.15mg/m3 65dB(A) 55dB(A) 6-9 500mg/L 300mg/L — 400mg/L 备注 以P计 日平均 日平均 1小时平均 日平均 昼间 夜间 0.24 mg/m3 1小时平均
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标 准 磷酸盐 石油类 阴离子表面活性剂 《大气污染物排放限值》2 废气 (DB44/27-2001) 二级标准 (第二时段) 3 噪声 《工业企业厂界噪声标准》(GB12348-90)Ⅲ类标准 二氧化硫 氮氧化物 LeqA — 20mg/L 20mg/L 500mg/m3 2.1kg/h 120mg/m3 0.64kg/h 65dB(A) 55dB(A) 以P计 15m 15m 昼间 夜间 根据评价要求，对于目前我国尚无排放标准的本项目排放的特征污染物，如磷烷、硅烷、硼烷等，参照执行技术或设备引进国的有关排放标准。经调研，尚未查到本项目设备引进国上述有毒有害气体的排放标准；故本项目拟参照执行荷兰颁布的《荷兰排放导则》(NER，Nederlandse Emissierichtlijnen=Dutch Emission Guidelines)。关于该导则，需要说明的是：NER与中国排放标准的强制性法规不同，《荷兰排放导则》是政府和行业用来为每个工厂设备设置环境许可所用的指导方针。《荷兰排放导则》先根据阈限值[TLV]对化合物进行分类，再对每种类别的排放限值作出界定。阈限值[TLV]是职业环境(8小时/天，5天/周，50周/年)中一种化合物的最大允许浓度。
NER将气态有机物中TLV值小于0.5mg/ m3的划分为gA.1类，TLV值大于0.5mg/ m3小于3 mg/ m3的划分为gA.2类，TLV值大于或等于3 mg/ m3的划分为gA.3类。
NER建议：对于gA.1类化合物排放速率小于0.010kg/h，排放浓度小于1.0 mg/ m3；对于gA.2类化合物排放速率小于0.050 kg/h，排放浓度小于5.0 mg/ m3；对于gA.3类化合物排放速率小于0.300kg/h，排放浓度小于
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30mg/m3。
NER关于本项目特征污染物的排放控制标准见表1-2。
表1-2 《荷兰排放导则》(NER)关于本项目特征污染物的排放控制标准 序号 1 2 3 污染物名称 磷烷 乙硼烷 硅烷 分类 gA.1 gA.1 gA.2 排放浓度 (mg/ m3) 1.0 1.0 5.0 排放速率 (kg/h) 0.010 0.010 0.050
1.4 评价重点
评价重点为工程分析、环境风险分析、清洁生产与环境保护措施分析。
1.5 评价工作等级
1.5.1 地表水环境
本项目废水排放总量为755.6 t/d，其中生活污水21.6 t/d，生产废水734 t/d。
按照《环境影响评价技术导则 地面水环境》(HJ/T 2.3-93)的地表水评价工作等级划分方法，根据本项目的废水排放量(>200,<1000 m3/d)，废水污染物复杂程度为简单，拟定本次地表水环境影响评价的工作等级按三级进行。
1.5.2 环境空气
本项目工业废气排放主要为生产工艺废气和备用柴油发电机废气。 由于项目工艺废气为少量工艺尾气，并经过废气洗涤塔处理后排放；且等标排放量<2.5×107，因此，大气环境影响评价工作的等级按三级进行，并可进一步酌情从简。
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1.5.3 声环境
根据深圳市城市区域环境噪声标准适用区域划分的规定：本项目拟建厂址所在区域为 GB3096-93所规定的三类区域，相应执行《城市区域环境噪声标准》的3类标准。
根据《环境影响评价技术导则 声环境》(HJ/T 2.4-1995)中声环境评价工作等级划分方法，本项目处于GB3096-93规定的3类标准地区，且噪声级增高量小于3dBA，受影响人口变化不大，因此本次声环境评价工作等级按三级进行。
1.5.4 生态环境
本项目占地面积为49852.43m2，按照《环境影响评价技术导则 非污染生态环境》(HJ/T 19-1997)，项目工程影响范围远小于20km2，由于建设用地位于高新科技产业园区，非敏感地区，土地大部分已经过平整，植被较少，无珍稀濒危五种，随着土地的全部平整，植被全部被清除，生物量减少<50%，因此本项目的生态影响评价小于三级，只做简单分析。
1.5.5 环境风险
本项目运营期间，危险性化学物品由生产厂家定期直接供应，现场仓库中存储量较少，根据《重大危险源辨识标准》，辨识指标AQR<1.0，且各化学物质储存量均低于规定的临界量，属于非重大危险源。按《建设项目管理名录》，本项目所在区亦非环境敏感地区。因此，本项目环境风险评价等级确定为二级。
1.6 评价范围
(1) 地表水
由于本项目在光明污水处理厂建成运营后才运行，项目的废水可以确保进
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入光明污水处理厂处理，因此水环境评价主要针对接入污水处理厂的可行性进行分析。其中现状评价为茅洲河光明农场断面。
(2) 大气
大气环境影响预测范围以厂区为中心，以主导风向为主轴，边长4 km范围的方形区域，评价区域约16km2。
(3) 噪声
施工期噪声环境影响评价至厂界外200m；营运期噪声评价范围为厂界外100米。
(4) 生态
以厂区为中心，边长2km的方形区域。
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第二章 项目概况及工程分析
2.1 建设项目基本情况
项目名称：薄膜太阳能电池板项目。
建设地点：本项目位于深圳市光明新区光明高新技术产业园区内，一号路和二号路之间，北面为木墩村，南面为四号路，宗地号为A508-0029。光明高新技术产业园区是深圳市重点投资开发的工业区，位于深圳西北部、宝安区北部，龙大路、观光路两侧，规划总用地面积为28.31平方公里，可建设用地面积为15.05平方公里。厂址地理位置见图2-1。
龙大高速
周家大道 项目位置 一号路 二号路
图2.1-1 项目地理位置图(比例尺：1:34000)
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建设性质和规模：为太阳能电池制造类项目。目标是建设年产量为25MW的薄膜太阳能电池板生产加工线
建设单位：杜邦太阳能（深圳）有限公司。
占地面积及建筑面积：本项目总用地面积为49852.43m2，总建筑面积为76203.63m2。其中厂房1栋2层，建筑面积为64621.7 m2；动力站1座3层，建筑面积为6565.73 m2；气体站2座，分别是硅烷站和氢氮站，均为1层结构，建筑面积为267.52 m2；研发楼1栋4层，建筑面积为4532.21 m2；废弃物回收站1座，建筑面积为172.96 m2；门卫室2座，建筑面积为43.51 m2。项目绿地面积为7470m2，绿化覆盖率为15%。
项目投资：9000万美元。
员工人数：项目员工预计人数将达到400人。其中，管理、技术及研发人员30人，生产工人348人，维修及其它辅助人员为12人。公司年工作日365 d。生产线员工实行4班三运转制，每班连续工作8小时，无宿舍楼。管理人员实行单班工作制。
建设进度：本项目建设期为18个月，即从2008.6-2009.12。项目实施进度计划见表2.4-1。
2.2 生产工艺
本项目生产的薄膜太阳能电池板为非晶硅薄膜太阳能电池板，生产工艺流程是使用覆有TCO膜的玻璃作为电池板基板，TCO膜由ITO（纳米铟锡金属氧化膜）、ZnO或SnO2组成，尺寸为1.1m×1.4m×t（t=4～6mm），清洗后用激光刻蚀技术形成特定花纹，然后采用化学沉积法（CVD）的方法形成a-Si，同样以激光刻蚀技术对a-Si进行花纹制作，之后以物理沉积进行电极制作，将太
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阳能板以EVA（热熔胶）进行热封再将接线盒及外框安装而形成产品，产品结构见图2-2，生产过程及产污节点见图2-3。
图3-2 产品结构示意图
使用材料 TCO玻璃基板 工艺流程 基板载入清洗 刻号机刻号 镭射蚀刻 去离子水 掺杂气体：SiH4、1%PH3/H2、CH4、0.5%B2H6/H2 清洗 化学沉积 污染物产生 碱性废水 少量粉尘 5%MG清洗液 少量粉尘 清洗废水 工艺尾气（含有毒气体） 镭射蚀刻 少量粉尘 去离子水 清洗 氧气、靶材：ZnO/Ag/Ti 清洗废水 物理沉积 工艺尾气（含少量粉尘） 背板金属镭射蚀刻 少量粉尘 少量粉尘 少量废Al2O3 清洗废水 废品 边框绝缘镭射蚀刻 Al2O3 去离子水 喷砂 清洗 开断路检测 打线 EVA膜(热熔胶) 接线盒、电池组封装 9
图3-3主要生产工序材料消耗与污染物排放
2.3污染源分析
2.3.1 水污染源
本项目产生的废水主要分为生产废水和生活污水两大类。 本项目废水排放和处理情况统计见表2-1。
表2-1项目废水排放及处理措施统计表
序号 废水类别 废水排放量(t/d) 1 345 120 268 734 处理措施及排放去向 一、生产废水 1 碱性清洗废水 2 一般清洗废水 3 废气洗涤塔废水 4 冷却塔排水以及冷却系统排水 小计 二、生活污水 小计 外排废污水总计 21.6 755.6 卫生间污水经化粪池处理后，排入光明污水处理厂 送至危废处理站进行处理 通过管道收集后排入项目自建废水预处理措施处理如后排如光明污水处理厂
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根据建设单位提供的资料，本项目建成投产后各废水处理系统主要污染物处理情况见表2-2。
表2-2项目各生产废水处理系统主要污染物处理情况 废 水 废水种类 处理量 t/d 碱性废水 一般生产废水 清洗废水 废气洗涤塔排冷却塔及冷却pH* CODCr BOD5 生活污水 21.6 NH3-N SS （以P计） 动植物油 LAS 注：pH无单位。 278 76 20.3 164 6-8 6.00 1.64 0.45 3.54 0.07 0.32 0.10 207 60 18.6 120 2.34 12.5 3.12 6-8 4.47 1.30 0.40 2.59 0.05 0.27 0.07 － 25.5 21.0 8.4 26.8 25.5 17.8 31.3 268 120 345 1 主 要 污染物 pH CODCr SS pH CODCr SS pH CODCr SS pH 75 35 9-11 85.0 40.0 9-11 9.0 4.2 75 35 6-9 587.0 200.0 6-9 29.3 13.8 85.0 40.0 6-9 9.0 4.2 处 理 前 排放浓度mg/L 6-9 0.587 0.2 排放量 kg/d 处 理 后 排放浓度mg/L 排放量 kg/d 预计处理效率(%) － － － － 29.3 13.8 28.6 50 － 72.8 — － 送至危废处理站进行处理 6-9 磷酸盐 3.14 15.2 4.54
2.3.2大气污染源 （1）项目废气排放情况
本项目所产生的废气主要来源于PECVD阶段产生的工艺尾气、玻璃基板激光刻蚀过程中产生的含有少量粉尘的废气以及备用柴油发电机使用时产生的废气。
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工艺尾气
在薄膜太阳能电池的加工过程中，工艺尾气主要来自CVD沉积工序，尾气中含有微量硅烷、磷烷、硼烷。
应用工艺特殊气体的典型生产工艺为化学气相沉积(CVD)
CVD是在玻璃基板上沉积氧化硅、氮化硅等半导体器件材料，在200℃的温度下通过化学反应产生以上物质的过程。
根据本项目特殊气体的工艺反应和尾气的排放特点，采用工程类比的方法，计算出本项目外排的工艺尾气中特殊污染物的排放浓度见表2-3。与《荷兰排放导则》（NER）的排放控制要求比较见。由表中可见，为经处理后特殊气体的排放浓度远低于《荷兰排放导则》（NER）中相应排放控制要求。
表2-3 工艺尾气中特殊污染物排放浓度
本 项 目 排 放 情 况 序号 名称 排放量 (kg/h) 设备净化 排放浓度 (mg/m3) 1 2 硅烷 磷烷 0.000009 0.00000026 0.00000058 0.021 0.00065 工艺尾气 排放浓度 (mg/m3) ＜0.0003 ＜0.000009 酸性废气 处理系统 排放浓度 (mg/m3) ＜0.000072 ＜0.0000022 ＜0.000005 《荷兰排放导则》(NER) 排放量 (mg/m3) 5.0 1.0 排放量 (kg/h) 0.050 0.010 装置尾气 处理系统 3 硼烷 0.0012 ＜0.000015 1.0 0.010 含尘废气
含尘废气来自于激光蚀刻工序中产生的极少量粉尘。这部分废气通过工艺尾气排风系统与燃烧处理过后的工艺尾气一同经过集尘机集尘后，经过废气洗涤塔处理后外排。
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备用柴油发电机尾气
为了在市电供应停止的情况下，能提供部分设备紧急供电，本建设项目拟装设2台功率为1800KW应急式柴油发电机组作为备用电源，项目备用柴油发电机在运行过程中将产生SO2、NOX、烟尘、CO等污染物，这些物质会对局部的环境空气造成一定的影响。由于项目的发电机属于备用和应急发电性质，在供电正常情况下，发电机每月工作时间不超过20小时，全年不超过240小时。
经计算，发电机燃烧柴油的主要大气污染物产生量可见表2-4。
表2-4发电机燃烧柴油主要大气污染物产生量 污染物 污染物排放量(kg/h) 年排放量(kg/a) NO2 8.61 2066 SO2 4.03 968 烟尘 1.81 434 2.3.3 噪声
（1）项目噪声声源情况
本项目产噪设备主要为冷冻机组、空压机、真空泵、水泵、应急柴油发电机等动力设备，按国内外相关项目类比可知，动力间的噪声约在72-90 dB(A)之间，见表2-5。
表2-5项目主要产噪设备统计表
序号 1 2 3 4 5 工艺系统 废气洗涤塔净化系统 有机废气净化排风系统 工艺尾气净化系统 一般废气排风系统 压缩空气系设备名称 变频离心风机 变频离心风机 变频离心风机 变频离心风机 水冷无油空型号、规格 3600m3/h 9360m3/h 4860m3/h 32525m3/h 1386Nm3/h 数量(台/套) 1 1 1 1 3 噪声 dB(A) 75～85 75～85 70～80 75～85 85～90
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统 气压缩机 1.0Mpa Q=1506 水冷螺杆式 冷水机组 kW; t1/t2=5/11℃ Q=260 m3/h 1 80～85 6 冷冻水系统 冷冻水一次泵 冷冻水二次泵(变速泵) 冷冻水二次泵(变速泵) 冷冻机 1 72～80 H=0.21Mpa Q=550m3/h H=0.37Mpa Q=216m3/h H=0.37Mpa Q=400m3/h t1/t2=32/37℃ Q=30m3/h H=25m Q=1200m3/h 350mbar(POU) Q=500m3/h 200mbar(POU) N=15 kW 380V N=20 kW 380V Q=320～384 m3/h， H=32 m，N=45 kW Q=28.2 2 2 78～85 81～86 1 76 2 70 2 65 1 1 73～83 73～80 7 常温水冷却系统 冷却塔 空压机 冷却塔 8 清扫真空系统 清扫真空泵 1 78 水冷水环式 9 工艺真空系统 电动机 电动机 真空泵 冷冻机 10 冷却水 系统 空压机 冷却水泵 11 动力系统 备用柴油发冷却水泵 2 75～85 m3/h， H=324m，N=7.5 kW 10KV、2 72～82 2 85～95
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电机组 1800KW 2.3.4 固(液)体废物
根据建设单位提供的资料，本项目废物产生量每年约597t，固体废料包括一般固体废物以及危险废物，其中一般工业固体废物中的废包装材料外卖至废品回收公司，生活垃圾由城市环卫部门统一收集处理，危险废物由有资质的危废处理单位进行收集处理。
固（液）体废物的排放情况见表2-6。
表2-6项目固体废物排放情况
项目 废塑料、玻璃、抹布 SiO2粉尘 废滤芯 碱性清洗废水 废包装材料 办公生活垃圾 合计 产生量(t/a) 5 1 2 365 80 144 597 性质 危险废物 危险废物 一般工业固体废物 一般工业固体废物 一般工业固体废物 一般工业固体废物 2.3.5 电磁辐射
本项目在动力站二层、主要生产厂房分别设置了变电器。其中动力站变配电所变压器装设容量为8200kVA , 生产厂房变配电所期变压器装设容量计算为12800kVA 。变压器总装设功率为21000kVA。这些变压器功率800-2500KVA，噪声48～52dB（A），工频电磁辐射强度低于1.1～1.3V/m。另外根据《电磁
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辐射建设项目和设备名录》，项目的溅射设备亦属于电磁辐射设备，频率为10-20MHz。
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第三章 环境影响分析及评价
3.1 水环境影响评价
3.1.1 项目排水情况
由前述污染源分析可知，本项目排水主要为清洗废水、废气洗涤塔排水、冷却系统排水、冷却塔排水以及生活污水。新鲜用水量为1329m3/d，总排水量为781.6t/d。主要污染物为COD、BOD5、SS和NH3-N。生活污水经化粪池处理后排入市政污水管道，最终汇入光明污水处理厂。
表7.1-1 光明污水处理厂近远期规模预测采用值（单位：万m/d） 污水处理厂名称 光明污水处理厂 近期（2010） 15 远期（2020） 25 3
3.1.2 水环境影响预测
1、项目排水进入光明污水处理厂可行性分析 （1）污水入网可行性分析
本项目位于光明高新产业园区内，距离光明污水处理厂约7公里，位于光明污水处理厂服务范围内，因此，项目建成后排水可以进入光明污水处理厂。项目所在地块周边道路与排污管道目前还没有建设。
（2）项目建设与污水处理厂建设时间衔接性分析
根据深圳市《关于协调解决世纪晶源化合物半导体项目有关问题的会议纪要》，关于光明污水处理厂建设问题：“光明污水处理厂的规划建设进度已严重滞后于区内项目的建设进度，请市水务、环保、发展改革等有关部门立即启动光明污水处理厂的建设，本着特事特办的原则，快速推进污水处理厂建设，满足区内项目的生产要求。”
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另外，根据深圳市宝安区人民政府出具的《关于光明污水处理厂建设有关问题的复函》（深宝府函[2007]3号），复函中明确：光明污水处理厂由市政府投资建设，2007年元月底前完成设计方案招标，4月完成初步设计，7月完成施工设计，9月开工建设。在本项目投产前，市有关部门将确保光明污水处理厂投入运行。
光明污水处理厂原计划采用BOT方式建设，建设周期较长。由于本项目为深圳市政府确定的高新技术重大项目，政府全力支持，为了快速推进光明污水处理厂的建设，现由市政府投资建设光明污水处理厂，同时明确给出了建设计划。本项目大约2009年6月建成投产，在本项目投产前，市有关部门将确保光明污水处理厂投入运行。
2、项目排水水量对光明污水处理厂的影响
本项目排水主要为清洗废水、废气洗涤塔排水、冷却系统排水、冷却塔排水以及生活污水。总排水量为755.6t/d。
光明污水处理厂设计处理规模初期为10万m3/d，设计时已经考虑了光明高新科技产业园区规划内容，本项目排水仅占设计处理水量的0.78%，因此，从水量上分析，光明污水处理厂完全可以接受本项目污水。
3.1.3 小结
综合以上分析，按照《茅洲河流域水环境综合整治工程规划》实施后，茅洲河水质可从根本上改善，达到环境功能区要求，而项目排水不会对光明污水处理厂造成负面影响，可以排入光明污水处理厂进行处理。但一定要保证项目建设投产与光明污水处理厂运行的一致性，在光明污水处理厂建成运行后，项目方可投产。
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3.2 大气环境影响
3.2.1正常排放情况下大气环境影响分析
(1)含尘废气
含尘废气主要来自于激光蚀刻过程中产生的微量粉尘。这部分废气与经过燃烧处理的工艺尾气一同排入集尘机然后进入废气洗涤塔，废气经处理后可达标排放，不会对周围空气环境产生明显影响。
(2)PE-CVD工艺尾气
PE-CVD工艺尾气主要产生于化学气相沉积工序，主要污染物为少量未参加反应的硅烷、硼烷以及磷烷。该部分工艺尾气经PE-CVD机自带的工艺尾气燃烧系统燃烧后，排入碱液洗涤塔进一步处理，处理后排放量极少（表7.2-5），对周围环境影响较小。
表7.2-5 工艺尾气中特殊污染物排放情况
本 项 目 排 放 情 况 序号 名称 排放量 (kg/h) 设备净化 排放浓度 (mg/m3) 1 2 硅烷 磷烷 0.000009 0.00000026 0.00000058 0.021 0.00065 工艺尾气 排放浓度 (mg/m3) ＜0.0003 ＜0.000009 酸性废气 处理系统 排放浓度 (mg/m3) ＜0.000072 ＜0.0000022 ＜0.000005 《荷兰排放导则》(NER) 排放量 (mg/m3) 5.0 1.0 排放量 (kg/h) 0.050 0.010 装置尾气 处理系统 3 硼烷 0.0012 ＜0.000015 1.0 0.010 (3)备用柴油发电机尾气
本项目备用1800KW的发电机，当发电机运转时会因柴油燃烧排放出一定量的尾气，该废气中主要含有烟尘、SO2及NOx。由于目前深圳市供电较为正
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常，每月柴油发电机工作时间不超过20小时，全年不超过240小时。由于本项目柴油发电机使用次数不多，该影响是瞬时的、短暂的。同时，本项目将对发电机排气安装烟气净化系统，使柴油发电机烟气达到林格曼1级以下，且在任何一小时内烟气达到林格曼黑度1级的累积时间不超过5分钟。同时，对处理后的尾气朝向开阔地带排放。
经过上述处理后，该发电机尾气中的污染物能在空气中较快地扩散，其各种大气污染物的落地浓度均较小，在常风条件下，SO2的最大浓度值均远远低于《环境空气质量标准》中的二类标准值，对周围环境影响较小，对处于项目下风向处的木墩村影响也较小。
3.2.2非正常排放情况下大气环境影响分析
当工艺尾气燃烧处理设施和酸性洗涤塔出现故障，无法对工艺尾气进行处理时，工艺尾气将直接排放入大气。工艺尾气处理前排放浓度以及排放速率见表7.2-5，由表可知，在非正常排放情况下，硅烷排放浓度为正常排放情况下的292倍，磷烷排放浓度为正常排放情况下的295倍，硼烷排放浓度为正常排放情况下的240倍。尽管硅烷、磷烷以及硼烷排放浓度增长较大，但各项指标的排放浓度以及排放速率仍均可达标排放，硅烷排放浓度为排放标准的0.42%，磷烷排放浓度为排放标准的0.065%，硼烷排放浓度为排放标准的0.12%。因此，即使在非正常排放的情况下，项目工艺尾气对周围环境影响不大，对处于项目下风向处的木墩村基本无影响。
3.2.3 小结
就深圳市污染气象条件看来，有风天气较多，大气稳定度等条件都较利于废气的扩散。由于本项目生产废气的污染物排放源强较低，排放浓度较低，正
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常情况下对周围大气环境影响极小，在非正常情况下对周围大气环境影响较小。虽木墩村位于项目下风向处，最近距离为70米，但项目对其基本无影响。
但建设单位仍需加强废气处理设备的维修保养，提高设备处理效率，保持长期、良好的废气治理效果；保证厂房的密闭性，避免生产过程中特殊气体偶然发生的无组织泄露排放，对木墩村居民产生不利影响。
3.3 环境噪声影响
本项目的主要产噪设备见工程分析部分表3.3-8。
本项目在工程设计上采取的降噪措施主要有：(1)采用空调通风的密闭厂房，主风管上均设有消声器；(2)动力设备基础均采取了减震材料；(3)循环冷却塔和风机，均选用低噪声的设备，安装隔声罩，将可使噪声源的噪声得到很大程度的降低。
本评价主要对项目产生的噪声对环境的影响进行预测。本项目建成投产后，公司正常生产时，主要产噪设备对厂界的影响预测结果见表7.2-6。
表7.2-6 正常生产时厂界噪声影响预测结果(单位：dB(A))
监测点 厂界北侧 厂界西侧 厂界南侧 厂界东侧 本底值 昼间 50.2 52.9 55.2 50.6 夜间 45.9 46.8 51.9 46.2 贡献值 34.6 39.0 34.0 25.0 预测值 昼间 50.3 53.0 55.3 50.7 夜间 46.2 47.4 52.0 46.3 评价结果 昼间 达标 达标 达标 达标 夜间 达标 达标 达标 达标
从表中可见：
①在项目厂界四个监测点处，昼间噪声预测值范围为50.3～55.3 dB(A)，夜间噪声预测值范围为46.2～52.0 dB(A)，均可满足《工业企业厂界噪声标准》(GB12348-90)Ⅲ类标准和《城市区域环境噪声标准》(GB3096-93)中的Ⅲ类标
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准的要求。
②由于公司对产噪设备和装置均采取消声、吸声、隔声等降噪措施，将使噪声源的噪声影响大大降低，各测点的噪声水平主要由噪声本底决定。其贡献值在25.0～39.0 dB(A)之间。
3.4 固(液)体废物环境影响
本项目固(液)体废物产生量597 t/a。工程采取分类收集处置的措施： 废塑料、抹布、废手套、废包装材料等，危险品容器交由专业单位统一处置，非危险品容器由废品回收商或环卫部门清运。
采取相应的措施后，可将本项目产生的固(液)体废物进行妥善处置，对周围环境产生的污染减少到最低限度。
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第四章 环境保护措施
4.1 废水治理措施分析
（1）生产废水
工程分析的结果表明：本项目运营期产生的生产废水量为733t/d，其中一般清洗废水量为345 t/d，废气洗涤塔废水量为120 t/d，以及冷却塔、冷却水系统排水268 t/d。生产废水中主要污染物为pH、CODcr和SS，由于项目生产废水将排入光明污水处理厂进行处理，因此项目自建污水处理措施只是对生产废水进行简单的预处理。由于本项目所排放废水水质成分较为简单，主要污染物为pH、CODcr以及SS，且清洁度较高，经调节pH值至6-9后，各项指标均能达到三级排放标准。处理后项目生产废水通过市政管网排入光明污水处理厂。
根据建设单位提供的资料，废水处理工艺如下：
生产废水 收集池 泵 调节池
总排口 光明污水处理厂 图11.2-1 废水处理流程图
（2）生活污水
生活污水的处理是水污染控制措施的一个重要方面。国内外在生活污水的处理上开始都是从解决粪便污水的处理着手，用化粪池的沉淀、厌氧消化作用
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来对粪便的病原微生物进行部分的杀灭和减少污泥量。由于项目不设员工宿舍，污水产生量较少（21.6t/d），且最后将排入光明污水处理厂进行，因此项目拟自建三级化粪池对生活污水进行简单处理即可达到城市污水处理厂接管标准。
（3）废水事故性排放环境风险控制对策
为杜绝废水事故排放，建议公司采取以下防范措施，以确保废水达标排放： ①在工程设计上，生产废水和生活废水采用分流制，分别处理排放。 ②控制最佳工艺条件，不仅有利于提高污物的去除率，也可保证废水处理系统运行的稳定性和可靠性。
③工程设计应考虑设置应急处理设施和应急处理蓄水池，使废水在非正常排放情况下具有一定的缓冲能力。
④定期进行排污口的检测，保证各污染治理设施应达到的去除率，当发现去除率下降时，及时安排检修。
⑤加强设备，管道，各项治污设施的定期检修和维修工作，杜绝生产过程中的跑、冒、滴、漏。
⑥严格在岗人员的管理，操作人员必须通过培训后上岗，并定期考核。
4.2 废气治理措施可行性分析
本项目生产过程中产生的废气，主要分为含有少量粉尘的一般工艺废气与PE-CVD工艺尾气。
(1) 含尘废气处理系统
含尘废气来自于激光蚀刻工序中产生的极少量粉尘。这部分废气通过工艺尾气排风系统与燃烧处理过后的工艺尾气一同经过集尘机集尘后，经过废气洗涤塔处理后外排。经处理后，可达标排放。
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(2) 工艺尾气处理系统
PE-CVD工序使用的特殊气体，如硅烷、磷烷、乙硼烷等，其中绝大部分(98～99%)在工艺中反应消耗外，其余1～2%以尾气的形式排放。PE-CVD生产线的工艺设备一般附有这类气体的净化装置，采用燃烧法进行燃烧处理，经过集尘机后再通过碱液吸收塔作进一步处理。
特殊气体的燃烧机理为：
SiH4O2SiO22H2O 2PH34O2P2O53H2O
2BH33O2B2O33H2O
燃烧后产生的副产物SiO2、P2O5、B2O3等颗粒物沉淀，燃烧产生的尾气纳入酸性废气处理系统，可被碱液喷淋吸收。经过上述处理，本项目最终外排工艺尾气中特殊污染物的排放浓度和排放速率均远低于《荷兰排放标准》中相应排放控制的要求。
从上述废水、废气治理措施介绍可以看出，工程所选治理方法都是一些通用、成熟的方法；处理原理明确，处理效率较高，能满足达标排放要求。本工程所选废水、废气治理方案是切合实际的。
4.3 噪声污染防治对策分析
本工程的噪声污染源主要来自动力设备，如冷冻机组、空压机、真空泵、应急发电机、通风机等。
本项目在设计上选择低噪声设备，合理布置噪声源：冷冻机组、应急发电机、空压机、真空泵和应急发电机等强噪声源均布置在动力厂房内；冷却塔布
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置在动力厂房楼顶。
在资金方面，拟投入约51万元进行噪声治理(其中重点是动力厂房设备噪声的控制)，对发电机房、空压机房、冷冻机房和废气处理装置、冷却塔噪声等进行治理，尽可能降低生产设备噪声对周围环境的影响。
本项目噪声控制措施的关键在于将强噪声源——空压机、冷冻机和真空泵等均布置在密闭的厂房内，并采取了较严密的降噪措施；对于设置在屋顶的冷却塔、通风机等，均采取了相应的减振、消声措施，抓住了本项目降噪的主体，又未忽视局部，所采取的措施应是有效的、合理可行的。
4.4固体废物污染防治对策分析
本项目在生产过程中产生的废物，包括一般工业固体废物和危险废物两大类：
本项目对废物的处置的原则是：采用废物由专人负责，分类收集、存放，按废物类型和性质分别处置。
4.5电磁辐射防治对策分析
变电设施应尽可能布置在噪音非敏感区域，地下或绿化带内，并与项目北侧的木墩村保持一定的缓冲距离，以减少噪声源对居民的影响。变电所主变方向12m、侧变方向8m不设办公室等人群密集功能。箱变站主变压器与周边建筑须确保正面8m以上，侧面6m以上的间隔距离，10KV变电器须确保正面12m以上，侧面8m以上的间隔距离。且为尽量减少箱变对外环境造成的影响，建议将这些箱变设备尽可能的布置在地下室内。项目设置在主厂房内的溅射设备，应适当采取电磁屏蔽和接地技术，避免对生产工作人员的健康产生损害。
项目应按照《电磁辐射防护》中相关要求，向当地环保部门申报、登记并
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接受监督。
4.6生态保护及绿化措施
本项目占地面积大，厂区内的生态保护和绿化应遵循下述原则： (1)本项目绿化率为15%，可达到深圳市规划局光明分局颁发的《深圳市建设用地规划许可证》中“绿地率≥14%”的要求。但根据《深圳市城市规划标准与准则》，一类工业用地厂区绿化率应达到30%，因此建设单位应尽量合理布局，力争使项目绿地率满足《深圳市城市规划标准与准则》。
(2)绿化地段应避免物种单一化，做到物种丰富化并进行合理的搭配。选择适合当地环境的树种。
(3)道路绿化应考虑有效的遮阳、防风等功能，同时考虑校区道路作为车流、人流出入小区的主要通道的通视问题。
(4)园林小品及建筑，可考虑设置假山、石桌、凳、椅。
(5)根据厂区的规划结构形式，采取各种绿化方式和园艺手法，使厂区形成花园式风格。
总之，绿化配置应疏密相间，错落有致。以草坪为底色，乔灌木搭配，垂直绿化作“挂毯”，以草花做点缀，使整个厂区处于立体的、多层次的、富有色彩变化的园林绿地之中。
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