（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201010525861.3 （22）申请日 2010.10.20
（71）申请人 上海森松压力容器有限公司
地址 200137 上海市浦东新区高翔环路562号第3幢
（10）申请公布号 CN101966991A
（43）申请公布日 2011.02.09
（72）发明人 郑飞龙;周积卫;茅陆荣
（74）专利代理机构 上海百一领御专利代理事务所(普通合伙)
代理人 陈贞健
（51）Int.CI
C01B33/03;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
多晶硅生产装置
（57）摘要
本发明提供的多晶硅生产装置，包括：底
盘；钟罩，设置在所述底盘之上，与底盘形成反应器；所述钟罩上设有尾气出口；所述钟罩外部设置夹套，所述夹套上设置夹套冷却油入口与夹套冷却油出口；所述反应器内部设置内件，所述内件包含中间接管和夹套管，夹套管内设置多晶硅棒；所述中间接管底部设置工艺气体入口、反应器冷却油入口与反应器冷却油出口。利用本发
明生产多晶硅，可以有效降低反应器内无定形硅的生长，减少装置的污染，提高多晶硅的转化率与纯度。
法律状态
法律状态公告日
2011-02-09 2011-02-09 2011-03-23 2011-03-23 2012-07-18 2012-07-18 2017-12-08
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止
法律状态
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效 授权 授权 专利权的终止
权利要求说明书
多晶硅生产装置的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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