产品名称 产品分类 产品原理 产品优点 产品缺点 过大的作用力会损坏样品。 产品规格 产用用途 备注 接触式探针 利用探针和待测物表面之原子力交互作用(一定要接触)。 在较大的作用力下可得较佳分辨率。 原子力显微镜(AFM)探针 非接触式探针 利用原子间的长距离吸引力来运作。 将非接触式AFM 改良,将探针和样品表面距离拉近,增大振福,使探针再振荡至波谷时接触样品由于样品的表面高低起伏,使的振幅改变,再利用接触式的回馈控制方式,便能取得高度影像。 由于探针和样品没有接触,因此样品没有被破坏的问题。 分辨率界于接触式和非接触式之间,破坏样品之机率大为降低,且不受横向力的干扰。 轻敲式探针 探针针尖半径一般为10到几十 nm。微悬臂通常由一个一般在空气100~500μm中的分长和大约辨率较500nm~5μm低 厚的硅片或氮化硅片制成。典型的硅对很硬微悬臂大约的样品100μm长、10而言,针μm宽、数微尖仍可米厚。 能受损。 耗材,损耗率很高 表面科耗材,损耗学、纳米率较上大幅技术领降低 域、生物电子等领域。 中和上述两款产品的优点,产品综合水平得到大幅提升
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