专利名称:微机械传感器专利类型:发明专利发明人:H·哈默
申请号:CN201080018950.7申请日:20100427公开号:CN102428376A公开日:20120425
摘要:一种用于根据在传感器上所出现的加速力和/或科氏力测定传感器运动的微力学传感器,所述微力学传感器具有一个衬底(5)以及至少一个设置在衬底(5)上并且可以相对于衬底(5)移动的质量块(6)。质量块(6)与衬底(5)和/或两个相向移动的质量块可以借助至少一个弯曲弹簧装置(1)相互连接在一起用于进行相对旋转运动。为了提高弯曲弹簧装置在旋转运动时的线性弹簧特性,所述弯曲弹簧装置(1)具有多个优选两个基本相互平行走向的弹簧条(2),以及至少在一个优选在每个弹簧条(2)上具有至少一个曲折段(3)。
申请人:感应动力股份公司
地址:奥地利格拉茨-莱布灵A8403爱贝芬德酒店
国籍:AT
代理机构:广州粤高专利商标代理有限公司
代理人:陈卫
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