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一种喷嘴、涂布机及涂布方法[发明专利]

2020-02-28 来源:步旅网
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种喷嘴、涂布机及涂布方法专利类型:发明专利

发明人:李广志,吴斌,尹冬冬,马永增,李志强,杜强强,王畅,刘

志,崔红丽

申请号:CN201810005053.0申请日:20180103公开号:CN108554669A公开日:20180921

摘要:本发明公开一种喷嘴、涂布机及涂布方法,涉及涂布设备技术领域,为改善涂布机的时间稼动率,并降低基板的浪费。所述喷嘴包括:喷嘴本体,所述喷嘴本体上设置有呈狭缝状的材料吐出口;将材料引入所述喷嘴本体内的泵,所述泵设置在所述喷嘴本体上方,所述泵的出口与所述材料吐出口连通;调节所述材料吐出口的宽度的出口宽度调节器,所述出口宽度调节器设置在所述喷嘴本体上;检测膜层的膜厚的膜厚检测器,所述膜厚检测器设置在喷嘴本体上。利用该喷嘴,可以在一个基板上进行一次涂布形成膜层的过程中完成对涂布参数的调整,提高了涂布机的时间稼动率,减少基板的使用数量,减少基板的浪费。本发明提供的喷嘴用于涂布形成膜层。

申请人:京东方科技集团股份有限公司,合肥京东方光电科技有限公司

地址:100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

国籍:CN

代理机构:北京中博世达专利商标代理有限公司

代理人:申健

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