电子束加工设备高压加速电源的研制

第５１卷第４期　电力电子技术　Ｖｏｌ：５１。Ｎｏ．４　２０１７年４月　ＰｏｗｅｒＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃＳ　Ａｐｒｉｌ　２０１７　电子束加工设备高压加速电源的研制　许海鹰　，范　恺　，张　伟：，齐铂金２　（１．北京航空制造工程研究所，高能束流加工技术重点实验室，北京１０００２４；　２．北京航空航天大学，机械工程及自动化学院，北京　１００１９１）　摘要：为获得稳定电子束流输出，提高电子束加工质量，采用ＡＣ／ＤＣ／ＡＣ／ＤＣ／ＡＣ／ＤＣ的拓扑电路结构、双闭环控　制电路，研制一种新型高压加速电源。检测分析了高压加速电源空载和带载时，高压变化线性度、逆变功率变　压器初级电压、电流波形，实验结果表明：所研制的高压加速电源的高压输出线性度较好，且能满足最大功率　输出的需求。　关键词：电源；电子束加工：高压　中图分类号：ＴＮ８６　文献标识码：Ａ　文章编号：ｌＯＯＯ－ｌＯＯＸ（２Ｏ１７）０４　００６５—０３　Ｖｏｌｔａｇｅ　Ｉｎｖｅｒｔｅｒ　Ｐｏｗｅｒ　Ｓｕｐｐｌｙ　ｆｏｒ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎ￣Ｂｅａｍ　Ｍａｃｈｉｔｍ　ＸＵ　Ｈａｌ－ｙｉｎｇ　，ＦＡＮ　Ｋａｉ　，ＺＨＡＮＧ　Ｗｅｉ　，ＱＩ　Ｂｏ－ｊｉｎ　（１．Ｓｃｉｅｎｃｅ　ａｎｄ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　Ｏｎ　Ｐｏｗｅｒ　Ｂｅａｍ　Ｐｒｏｃｅｓｓｅｓ　Ｌａｂｏｒａｔｏｒｙ，　Ｂｅｉｊｉｎｇ　Ａｅｒｏｎａｕｔｉｃａｌ　Ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ　Ｒｅｓｅａｒｃｈ　Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ，Ｂｅｉｊｉｎｇ　１０００２４，Ｃｈｉｎａ）　Ａｌｍｔｍｅｔ：Ｉｎ　ｏｒｄｅｒ　ｔｏ　ａｃｑｕｉｒｅ　ｓｔｅａｄｙ　ｏｕｔｐｕｔ　ｏｆ　ｅｌｅｃｔｒｏｎ　ｂｅａｍ　ａｎｄ　ｅｎｈａｎｃｅ　ｔｈｅ　ｑｕａｌｉｔｙ　ｏｆ　ｅｌｅｃｔｒｏｎ　ｂｅａｍ　ｍａｃｈｉｎｅ，ｌ：ｈｔｅ　ｔｏｐｏｌｏｇｙ　ｃｉｒｃｕｉｔ　ｏｆ　ＡＣ／ＤＣ／ＡＣ／ＤＣ／ＡＣ／ＤＣ　ａｎｄ　ｄｏｕｂｈ　ｃｌｏｓｅｄ・ｌｏｏｐ　ｃｏｎｔｒｏｌ　ｃｉｃｒｕｉｔ　ｈａｓ　ｂｅｅｎ　ａｄｏｐｔｅｄ　ｔｏ　ｍａｎｕｆａｃｔｕｒｅ　ｈｉｇｈ　ｖｏｌｔａｇｅ　ｐｏｗｅｒ　ｓｏｕｒｃｅ．Ｂｅｓｉｄｅｓ　ｔｈｅ　ｌｉｎｅａｒｉｔｙ　ｏｆ　ｏｕｔｐｕｔ　ｈｉｇｈ　ｖｏｌｔａｇｅ，ｔｈｅ　ｍａｘｉｍａｌ　ｖｏｌｔａｇｅ　ａｎｄ　ｃｕｒｒｅｎｔ　ｗａｖｅｓ　ａｔ　ｏｒｉｇｉｎａｌ　ｃｏｉｌ　ｏｆ　ｈｉｈｇ　ｖｏｌｔａｇｅ　ｉｎｖｅｒｔｅｒ　ｔｒａｎｓｆｏｒｍｅｒ　ｈａｖｅ　ｂｅｅｎ　ｄｅｔｅｃｔｅｄ．Ｔｈｒｏｕｇｈ　ａ　ｓｅｒｉｅｓ　ｏｆ　ｔｅｓｔｓ，ｔｈｅ　ｒｅｓｕｌｔ　ｓｈｏｗｓ　ｔｈａｔ　ｎｏｔ　０ｎｌｙ　ｈｔｅ　ｏｕｔｐｕｔ　ｏｆ　ｈｔｅ　ｈｉ　ｈｇ　ｖｏｌｔａｇｅ　ｐｏｗｅｒ　ｓｏｕｒｃｅ　ｈａｓ　ａ　ｉｆｎｅ　ｌｉｎｅａｒｉｙｔ，ａｎｄ　ｉｔ　ｃａｌｌ　ｍｅｅｔ　ｔｈｅ　ｍａｘｉｍｕｍ￣ｅｂａｍ　ｏｕｔｐｕｔ．　ＫｅＹｗｅｒｄｓ：ｐｏｗｅｒ　ｓｕｐｐｌｙ；ｅｌｅｃｔｒｏｎ　ｂｅａｍ　ｗｅｌｄｉｎｇ；ｈｉｈｇ－ｖｏｌｔａｇｅ　ｌＦｏｍａ＆ｄｉｍａ｜Ｐｌ咖：Ｓｕｐｐｏｒｔｅｄ　ｂｙ　Ｍｉｎｉｓｔｒｙ　ｏｆ　Ｉｎｄｕｓｔｒｙ　ａｎｄ　Ｉｎｆｏｒｍａｔｉｏｎ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ（Ｎｏ．ＸＸ一０９３－０３）　ｌ　引　言　脉宽逆变，又要变脉宽限流调压。使得ＰＷＭ脉宽　真空电子束具有能量密度高、能量转化效率　调整频繁，这将导致高压（加速电压）稳定性很差。　高、加工质量高等优点【１－２］，已经在航空航天、兵器　而加速电压是影响束流品质的重要参数。加速电　工业、舰船等国防工业及其他民用工业领域得到　压不稳定，将会直接影响加工质量。　广泛的应用【３】。为获得稳定的电子束流输出，除了　采用基于ＡＣ／ＤＣ／ＡＣ／ＤＣ／ＡＣ￣Ｃ的拓扑电路　高可靠性的电子枪系统外．还需要能稳定可靠工　及先进的控制策略。设计制造一种新型基于ＩＧＢＴ　作的高压电源。　的调压、逆变拓扑电路结构的电子束加工设备高　国内电子束加工设备电源通常采用工频机组　压加速电源。针对高压加速电源在电子束源系统　升压模式或工频整流后逆变升压模式获得高压。　中的作用，设计高压加速电源的主电路拓扑结构　工频机组升压模式不但噪声大，而且响应速度慢，　及其双闭环控制电路，实现了稳定的高压输出。　存在数千伏的高压纹波，此外，放电脉冲尖峰极易　２加速电源ｌ韵作用　耦合到工频电　网中，干扰其他设备正常工作。工频　通常电子束通过加热阴极产生的屯子，再经　整流后逆变升压模式一般采用脉宽调制（　）　过电子枪阴极、阳极间的加速电压加速，经电子光　控制，该模式的拓扑电路中，功率开关器件既要定　学系统汇聚后，形成能量高度集中饷电子束流。高　压逆变电源与电子枪的连接如图１所示。图中　，　ｌ５０　ｋＶ加速电源的正端接地　．负端通过限流电阻　基金项目ｌ＿工信部基金资助项目（Ｘｘ－Ｏ９３－０３）　Ｒ　接栅极电源的正端　，栅极电源的负端接电子枪　定麓圈鞠＝舶瞄捆　灏　的栅极。灯丝加热电源的正　负端接电子枪的灯丝　作者简介：许海鹰（１９７３一），男，山西临猗人，博士，高级工　两端。同时灯丝加热电源的正、负两端分别通过　程师　。研究方向为高能柬流加工设备技术。　，Ｒ。及　悬浮于Ｉ５０　ｋＶ加速电源的负端。　第５１卷第４期　２０１７年４月　电力电子技术　ＰｏｗｅｒＥｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｖｏ１．５１．Ｎｏ．４　Ａｐｒｉｌ　２０１７　ｌ　Ｉ　Ｒ２　灯丝加热电源　尼　５攀０ｋＶｌ　０￣２　５０Ｖ／３００ｍＡ　工　图１连接示意图　Ｆｉｇ．１　Ｃｏｎｎｅｃｔｉｏｎ　ｓｃｈｅｍａｔｉｃ　ｄｉａｇｒａｍ　３加速电源拓扑电路　高压加速电源由低压部分和高压部分组成。　低压部分包括全桥逆变直流电源和全桥逆变电　路。其电路结构如图２所示。高压部分主要由高压　功率变压器、倍压整流电路、高压采样电路等组　成．其电路结构如图３所示。　２　ＶＤ２　＿ｒ－　ｌ　￣３８０Ｖ　Ｖ　本　Ｖｏ　ｔ　ＶＤ１５０Ｈｚ　ｃ，　２　‘ＶＤ３２　ＶＤ４　……Ｌ¨ｉ　　Ｉ平　Ｌ　Ｌ一　．－　０■－—－－—－．－－－－－—一－．．．Ｊ　‘　－　一．１　．　０　嘉雾　・　　ａ　Ｉ’ｌｌ　Ｉ　图２低压部分电路　Ｆｉｇ．２　Ｃｉｒｃｕｉｔ　ｏｆ　ｌｏｗ　ｖｏｌｔａｇｅ　ｐａｒｔ　图３高压部分电路　Ｆｉｇ．３　Ｃｉｃｒｕｉｔ　ｏｆ　ｈｉｇｈ　ｖｏｌｔａｇｅ　ｐａｒｔ　图２中．三相３８０　Ｖ交流电经三相全桥整流　滤波电路ＭＤ。后得到约５００　Ｖ的直流电，输入到由　ＩＧＢＴ开关管ｖｍ—Ｖ∞组成的第１全桥逆变电路，变　换成约２０ｋＨｚ的交流方波，然后经１：１隔离变压　器Ｔ　耦合至次级，再经由二极管ＶＤ，一ＶＤ４组成　的全波整流电路整流，电感三。和电容Ｇ２组成的　滤波电路滤波后。得到电压稳定可调的直流电。该　直流电作为Ｖ，～Ｖ　组成的第２全桥逆变电路的输　入。第２全桥逆变电路将所述直流电转化成２０　ｋＨｚ　的交流电，作为高压部分输入，其中电容ｃ　，Ｇ为　隔直电容。低压部分电路的电流变化过程为：ＡＣ／　ＤＣ／ＡＣ／ＤＣ／ＡＣ．第１级ＡＣ／ＤＣ变化是３８０　Ｖ／５０　Ｈｚ　６６　的交流电经过三相全波整流滤波后变成稳定的约　５００Ｖ的直流电：第２级ＡＣ／ＤＣ变化是经过第１级　全桥逆变电路所形成的２０　ｋＨｚ左右的交流电经　过滤波整流电路后变成的电压可调的直流电。调节　第１级逆变电路ＩＧＢＴ的导通时间，可调整第２级　ＡＣ／ＤＣ变化电路的输出电压，所设计电路的输出　电压０～５００　Ｖ连续可调。　加速电源的拓扑电路采用３级ＡＣ／ＤＣ转化，　第１，２级ＡＣ／ＤＣ均为小于５００　Ｖ的低压，第３级　ＡＣ／ＤＣ既包括２０　ｋＨｚ交流方波的低压，又包括　１５０　ｋＶ的高压。低压与高压部分通过高压逆变功　率变压器隔离。　高压部分由３组同等功率、电路拓扑的倍压　电路组成，图３是其中的一组，高压逆变功率变压　器（ＨＶ　ｒＲ）的输入为第２级全桥逆变电路输出的　２０　ｋＨｚ左右的交流方波，ＨＶＴＲ的变比为１：２２，将　输入０～５００　Ｖ变化的低压交流电转化为０～１１　ｋＶ　频率相同的高压交流电，该交流电再经过　Ｃｏｃｋｃｒｏｆｔ．Ｗａｌｔｏｎ　１６倍压整流电路。变成负高压直　流电，经过　限流电路后，连接到偏压电源、灯丝　加热电源。　图３倍压整流电路中，Ｃ　，　上的最高电压为　高压变压器次级的峰值电压　，则ｃ２的最高电压　为２Ｕ。当高压变压器初级输入电压峰值为５００　Ｖ　时，其次级峰值电压为１ｌ　ｋＶ，则倍压整流电路中　各电容和二极管承受最高电压为２２　ｋＶ。倍压整　流电路中各电容均为２５　ｎＦ／４０　ｋＶ，由两只５０　ｎＦ／　２Ｏ　ｋＶ电容串联而成，整流二极管参数为５　Ｍ４０　ｋＶ。　当高压部分的输入电压在０～５００　Ｖ间变化　时，输出高压直流电的变化范围为０—１７６　ｋＶ。带　载后电压会降低。平均压降为【　】：　Ａ　＝，ｄ（２ｎ　＋３ｎ　＋４ｎ）／（１２ｆｃ）　（１）　式中：△　为电压降；，ｄ为输出束流　为工作频率；Ｃ为单　只电容容量：／ｔ＇为倍压电路级数。　与普通的倍压整流电路相比．采用Ｃｏｃｋｃｒｏｆｔ．　Ｗａｌｔｏｎ对称全波整流电路不仅可减小滤波电容的　容量，而且还可降低输出高压的纹波电压。输出的　纹波电压ＡＵ＝ｎｌｄ（４ｆＣ）。　当需要输出２００　ｍＡ束流时，每一组倍压电路　需提供６６．７　ｍＡ束流，可通过式（１）计算△　，根　据所选参数，则输出电压降低了１３．８７３　ｋＶ。设计　时选择较多倍压电路的级数。是为了弥补由于　ＨＶＴＲ漏感、高压二极管压降等所引起的压降。并　可根据ＡＵ＝ｎｌｄ（４ｆｃ）计算出最大束流输出时纹波　电压为５３３　Ｖ　电子束加工设备高压加速电源的研制　４控制电路设计　加速电源的低压部分电路中的第１逆变电路　与第２逆变电路采用不同的控制模式，其中第２　逆变电路采用定频满脉宽的控制方式。加速电源　的输出特性通过改变第１逆变电路的输出电压来　调节。这种控制方式有效避免了单级逆变电源在　小功率工作时，逆变电路的脉宽过窄导致输出电　流电压脉动过大的问题。同时，为提高加速电源的　输出稳定度，第１级逆变电路采用了内、外环控制　相结合的方式进行调节。　４．１加速电源控制电路设计　图４为高压加速电源的电压闭环控制电路原　理框图。图中，高压加速电源输出电压经过一组由　高压电阻组成的采样电路后获得高压反馈信号　‰，所设计的‰最大反馈信号为一９　Ｖ。　趱薯……　。圆＿　耐　函商　圆圈　　圆圈　幽　ｌ哩　ＩＤ　一２　　Ｉ　图４加速电源控制电路框图　Ｆｉｇ．４　Ｂｌｏｃｋ　ｄｉａｇｒａｍ　ｏｆ　ａｃｃｅｌｅｒａｔｉｏｎ　ｐｏｗｅｒ　ｃｏｎｔｒｏｌ　ｃｉｒｃｕｉｔ　外部高压给定信号‰作为外环比例积分微　分（ＰＩＤ）调节电路的输入，其输出值　与第２级　ＡＣ／ＤＣ输出电压的反馈信号　作为内环ＰＩＤ调　节电路的输入，内环ＰＩＤ调节电路输出　再调节　ＰＷＭ发生及保护电路１所产生的ＰＷＭ脉冲宽　度。从而改变第１级逆变电路中ＩＧＢＴ开通时间，　继而导致第２级ＡＣ／ＤＣ输出的直流电压改变，从　而使高压输出得到调节。因此，当闭环调节电路稳　定时，加速电源的输出高压就与设定值相等，大大　提高了加速电压输出的稳定度。　为增强加速电源抑制电子枪放电引起的高压　脉冲电流、电压尖峰的能力，如图４所示，将‰　输入到ＰＷＭ发生及保护电路２，在此控制电路　中，若检测到‰大于最大设定值０．１　ｍ８，则关断　第２级逆变电路中的ＩＧＢＴ．在１　ｍ８后重新开通　第２级逆变电路中的ＩＧＢＴ。当检测到输出高压恢　复到稳定的设定值。则ＰＷＭ发生及保护电路２　正常输出满脉宽。否则，当连续多次检测到　大　于最大设定值０．１　ｍｓ时．则关闭第２级逆变电路　中的ＩＧＢＴ，同时输出报警信号，通过人工干预排　除故障。该电路的采用将极大提高加速电源工作　的可靠性。　４．２高压采样电路设计　高压采样信号通过电阻分压方式获得，高压采　样电路如图５所示。采样电阻网络为一个９１　ｋｉｔ　电阻和一个２　ｋＱ可调电位器串联组成。２　ｋｌｌ可调　电位器用于调节采样电阻网络的阻值。使其达到　９０　ｋｆｔ；５０　ＭＱ／５　Ｗ的高压电阻３个一组串联，共　计１０组．组成１　５００　ＭＱ的电阻串联网络连接高　压‰和采样电阻。相对于１　５００　ＭＱ的高压电阻　网络，采样电阻网络阻值太小，则　＝１　５００　／　０．０９，当采样电压信号达到９　Ｖ，则高压达到１５０　ｋＶ，　满足设计要求。　。　一ｖ　—ｏ＿—＿ｃ　　８　图５高压采样电路　Ｆｉｇ．５　Ｈｉｓｈ　ｖｏｌｔａｇｅ　ｓａｍｐｌｉｎｇ　ｃｉｃｒｕｉｔ　５　实验分析　５．１空载实验　不连接电子枪，空载时，第２级ＡＣ／ＤＣ变化　电路的输出直流电压从零逐渐增加，在高压输出　６０　ｋｖ以上，记录直流电压对应的高压输出，直到　最高电压达到１５０　ｋＶ，实验结果如图６所示。由　图可见，输出高压随给定直流电压的增大而增大，　在输入电压为３５０　Ｖ时。输出电压达到１５０　ｋＶ，达　到设计要求，且高压输出的线性度较好。　矾ｎ／Ｖ　图６输入、输出对应关系曲线图　Ｆｉｇ．６　Ｉｎｐｕｔ　ａｎｄ　ｏｕｔｐｕｔ　ｃｕｒｖｅ　ｇｒａｐｈ　图７为　达到９　Ｖ时，用ＴＰＳ２０２４示波器　采样得到的高压逆变功率变压器初级电压　的　波形。由图可见，当高压逆变功率变压器初级输入　３５０　Ｖ左右的交流方波时。高压电源输出达到１５０　ｋＶ。电压波形出现谐振，初步分析是由高压逆变　功率变压器漏感、层间电容、倍压整流电路的寄生　电感等引起的。　（下转第７４页）　６７　第５１卷第４期　２０１７年４月　电力电子技术　Ｐｏｗｅｒ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｖｏ１．５１．Ｎｏ．４　Ａｐｒｉｌ　２０１７　在规定的时间内无法促使ＰＣＣ电压频率偏移至　确保电网断电后ＰＣＣ电压频率更快地从电网频　阈值之外，孤岛检测失败。而改进ＳＭＳ算法能避　免临界稳定状态的发生，断网后工作点处于严重　不稳定状态，因此，ＰＣＣ电压频率能快速从电网频　率切出，显著提高了孤岛检测速度。　率处切出．提高算法在高负载品质因数时检测到　孤岛的快速性及正确性。仿真与实验表明，所提改　进方案不仅能保持传统算法对电能质量影响小和　无检测盲区的优点。且极大地提高了孤岛检测速　度．在高负载品质因数时依然能高效快速地无盲　区检测到孤岛状态。　参考文献　【１】刘方锐，段善旭，康勇，等．多机光伏并网逆变器的孤　岛检测技术［Ｊ］．电工技术学报，２０１０，２５（１）：１６７—１７１．　Ｃｈｏｗｄｈｕｒｙ　Ｓ　Ｐ，Ｃｈｏｗｄｈｕｒｙ　Ｓ，Ｃｒｏｓｓｌｅｙ　Ｐ　Ａ．Ｉｓｌａｎｄｉｎｇ　Ｐｒｏ—　ｔｅｃｔｉｏｎ　ｏｆ　Ａｃｔｉｖｅ　Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎ　Ｎｅｔｗｏｒｋｓ　Ｗｉｔｈ　Ｒｅｎｅｗａｂｌｅ　Ｄｉｓｔｒｉｂｕｔｅｄ　Ｇｅｎｅｒａｔｏｒｓ：Ａ　Ｃｏｍｐｒｅｈｅｎｓｉｖｅ　Ｓｕｒｖｅｙ［Ｊ］．Ｅｌｅｃ—　ｔｒｉｅ　Ｐｏｗｅｒ　Ｓｙｓｔｅｍｓ　Ｒｅｓｅａｒｃｈ，２００９，７９（６）：９８４－９９２．　图８实验结果　Ｆｉｇ．８　Ｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌ　ｒｅｓｕｌｔｓ　杨秋霞。赵清林，郭小强．三相光伏并网逆变器电流扰动　孤岛检测建模及分析［Ｊ］．电力系统自动化，２０１２，３６（４）：　４５－４９．　５　结　论　针对传统ＳＭＳ算法在高负载品质因数时检　张凯航，袁丁浩。何嘲　越，傅质馨，等．基于正切滑模频移法的孤　宇，漆汉宏，等．基于抛物线型ＳＭＳ算法　岛检测方法［Ｊ］．电力自动化设各，２０１３，３３（１２）：６６—７２．　测时间变长甚至检测失败的缺陷。根据椭圆曲线　在顶点处斜率为无穷大的特性。将传统ＳＭＳ算法　中正弦频率偏移函数替换为椭圆频率偏移函数。　（上接第６７页）　的孤岛检测［Ｊ］．电工技术学报，２０１３，２８（１０）：２３３—２４０．　王斯成，杨鸿雁，王连贵，等．ＧＢ／Ｔ　１９９３９—２００５光伏系　统并网技术要求【ｓ】．中华人民共和国国家标准，２００５．　电流采样用变比为５００的霍尔传感器，采样　电阻３Ｏ　Ｑ，可以看出，／／，ｍ峰值达到了６６０　Ｖ，ｉ．ｍ峰　　值达到了１５０　Ａ．第２级逆变电路功率器件均为　ＢＳＭ３００ＧＢ１２０ＤＬＣ型ＩＧＢＴ．能满足高压加速电源　辇窭　＞＞　毒　ｔ／（１０　ｕｓ／格）　最大功率稳定输出需求。　图７初级电压与高压采样波形　Ｆｉｇ．７　Ｐｒｉｍａｒｙ　ｖｏｌｔａｇｅ　ａｎｄ　ｈｉｓｈ　ｖｏｌｔａｇｅ　ｓａｍｐｌｉｎｇ　ｗａｖｅｆｏｒｍｓ　６　结　论　采用ＡＣ／ＤＣ／ＡＣ／ＤＣ，ＡＣ／ＤＣ的拓扑电路结构、　Ｃｏｃｋｃｒｏｆｔ．Ｗａｌｔｏｎ　１６倍压整流电路、双闭环控制技　术等，设计制造了高压加速电源，实验表明所研制　５．２　带载实验　高压加速电源连接电子枪等束源系统，在灯　丝加热电流２５　Ａ，偏压给定电压一１２　Ｖ，高压输出　电源不但高压输出线性度好，工作稳定，达到最大　功率输出，且其拓扑电路有利于提高其抗干扰能力。　１４７　ｋＶ时．在４５　Ｑ采样电阻上检测到最大束流　反馈信号为９　Ｖ，实现了最大２００　ｍＡ束流输出。　分别对第２逆变电路中．输入到功率变压器的电　压和电流波形进行检测，测试波形如图８所示。　寒冬　＞　参考文献　【１】李晓延，武传松，李午申．中国加工制造领域学科发展　研究［Ｊ］．机械工程学报，２０１２，４８（６）：１９—３１．　【２】Ｃ　Ｙ　Ｈｏ．Ｆｕｓｉｏｎ　Ｚｏｎｅ　Ｄｕｒｉｎｇ　Ｆｏｃｕｓｅｄ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎ—ｂｅａｍ　Ｗｅｌｄ－　ｉｎｇ［Ｊ］．Ｊｏｕｒｎａｌ　ｏｆ　Ｍａｔｅｉｒｌａｓ　Ｐｒｏｃｅｓｓｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，２００５，　１６７（２）：２６５－２７２．　［３］李晓红，毛ｆ／（１０　ｓ／格）　唯，熊华平．先进航空材料和复杂构件的　加工技术［Ｊ］．航空材料学报，２００６，２６（３）：２７６—２８２．　［４］闰晓峰．真空电子束焊在我国航空机载设备上的应用　及发展趋势［Ｊ］．航空制造技术，２００５，２８（９）：９０—１０２．　图８初级电压、电流波形　Ｆｉｇ．８　Ｐｒｉｍａｒｙ　ｖｏｌｔａｇｅ　ａｎｄ　ｃｕｒｒｅｎｔ　ｗａｖｅｆｏｒｍｓ　７４