专利名称：改良式晶舟专利类型：实用新型专利
发明人：庄峻源,许俊男,孙长德,吕学兴,王顺意申请号：CN200420007927.X申请日：20040317公开号：CN2691050Y公开日：20050406
摘要：本实用新型是关于一种改良式晶舟，此晶舟上具有复数个置放晶圆的晶圆槽，而每一晶圆槽与其一侧相邻的晶圆槽间具有第一间距，而与另一侧相邻的晶圆槽间具有小于第一间距的第二间距，且置放于第二间距两侧晶圆槽内的晶圆是以背对背的置放方式，而每一晶圆表面之间乃具有第一间距，如此设计不仅不会影响晶圆制程时的均匀度，更可大幅提升每批制程的产能。
申请人：立生半导体股份有限公司
地址：台湾省新竹市
国籍：CN
代理机构：中科专利商标代理有限责任公司
代理人：周长兴
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容