专利名称：一种钕铁硼磁体表面防腐涂层的制备方法专利类型：发明专利发明人：程俊峰,贺琦军申请号：CN202010336293.6申请日：20200424公开号：CN111304596A公开日：20200619
摘要：本发明公开了一种钕铁硼磁体表面防腐涂层的制备方法，包括以下步骤：1）表面预处理：清洗磁体表面，烘干；2）表面清洗：抽真空，升温至100℃，通入氩气，腔体加负偏压，对样品进行等离子清洗；3）表面蒸镀：抽真空，升温至200～300℃，通入辅助气体，辉光放电产生等离子体，轰击金属靶材，真空蒸镀，在钕铁硼磁体表面蒸镀上复合涂层；所述辅助气体包括第一组分、第二组分和第三组分，所述第一组分为硅烷，所述第二组分为氧气、一氧化二氮，所述第三组分为氩气、氦气；4）蒸镀结束后，继续抽真空至真空室温度降至100℃以下，关闭设备。本发明采用真空热蒸镀生成无机纳米颗粒‑金属复合薄膜，使得钕铁硼磁体表面的耐腐蚀性能提高。
申请人：宁波招宝磁业有限公司
地址：315000 浙江省宁波市镇海区城关后海塘工业区定海路66号
国籍：CN
代理机构：杭州亿创果专利代理有限公司
代理人：朱琴琴
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