专利名称：超声波样品台以及用其进行粉体磁控溅射镀膜的方
法
专利类型：发明专利
发明人：沈志刚,俞晓正,蔡楚江,麻树林,邢玉山申请号：CN201010125037.9申请日：20100316公开号：CN101798677A公开日：20100811
摘要：本发明公开了一种超声波样品台以及用其进行粉体磁控溅射镀膜的方法，该超声波样品台包括有样品容器、共振器和超声波发生器，样品容器置于共振器上方，共振器通过电缆与超声波发生器相连。在粉体磁控溅射镀膜过程中，通过调节超声波频率20kHz～500kHz和功率50W～2000W来带动共振器，使得共振器能够把声波均匀地施加到样品容器上，从而使样品容器内的粉体上下跳动并均匀地分散，且使粉体表面镀覆上均匀的薄膜，这样就满足了粉体均匀磁控溅射镀膜的目的。
申请人：北京航空航天大学
地址：100191 北京市海淀区学院路37号
国籍：CN
代理机构：北京永创新实专利事务所
代理人：李有浩
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容