专利名称：一种氢气传感器专利类型：发明专利发明人：杨泽林,沈常宇,朱莺申请号：CN201610859538.7申请日：20160928公开号：CN106248625A公开日：20161221
摘要：本发明公开了一种氢气传感器，由激光器，单模光纤，光纤准直器，第一透镜，第一半透半反镜，物镜，流体盒，Pd/SiO薄膜，通气管，调节器，流量控制器，阀门，第二半透半反镜，第二透镜，衍射光栅，4f光学系统，CCD相机组成。激光器发出的激光经单模光纤与光纤准直器将激光变为准直光，经第一透镜聚焦在第一半透半反镜后反射到物镜，使激光平行出射到流体盒内，流体盒内充有N和H，激光通过Pd/SiO薄膜反射通过物镜聚焦后通过第一半透半反镜和第二半透半反镜，反射光通过第二透镜成平行光线再通过衍射光栅及4f光学系统进行干涉，最后在CCD相机上显示干涉图像，通过Pd/SiO薄膜晶格膨胀的变化来测氢气浓度，该发明灵敏度高、精度高，具有良好的应用前景。
申请人：中国计量大学
地址：310018 浙江省杭州市下沙高教园区学源街258号
国籍：CN
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