专利名称：一种有机薄膜晶体管及其制备方法专利类型：发明专利
发明人：冯林润,刘哲,凯伦·帕拉巴·拉杰夫,西蒙·多米尼克·奥
吉尔
申请号：CN201910069990.7申请日：20190124公开号：CN111477742A公开日：20200731
摘要：一种有机薄膜晶体管及其制备方法。该制备方法包括在基底上通过图案化形成背栅；在基底和背栅上形成有机背栅介电层；在有机背栅介电层上通过图案化形成源电极和漏电极；在有机背栅介电层、源电极和漏电极上形成有机半导体沟道层；在有机半导体沟道层上形成有机顶栅介电层；在有机顶栅介电层上通过图案化形成顶栅；利用顶栅充当硬质掩模，蚀刻有机半导体沟道层和有机顶栅介电层。该有机薄膜晶体管由上述方法制备得到。该方法省略了图案化介电层的工序，节省了光罩数量，节约了成本，简化了工艺。
申请人：纽多维有限公司
地址：英国巴克斯顿11号步行街卡文迪什之家邮编SK176JR
国籍：GB
代理机构：北京安信方达知识产权代理有限公司
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