专利名称：砷化镓单晶开管热处理装置专利类型：实用新型专利发明人：周春锋,杨连生,刘晏凤申请号：CN200820004700.8申请日：20080125公开号：CN201172701Y公开日：20081231
摘要：本实用新型公开了一种砷化镓单晶开管热处理装置，包括：惰性气体导入单元、石英帽、石英管、热扩散炉和尾气处理单元，其中，惰性气体导入单元与石英帽和石英管相连接，所述石英管放置于热扩散炉中，并与尾气处理单元连接。采用该装置对砷化镓晶体进行热处理，既保证晶体表面无氧化、无离解，又能释放晶体热应力和提高晶体电参数均匀性，达到节约成本和降低复杂度的目的。
申请人：中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津晶明电子材料有限责任公司
地址：300220 天津市河西区洞庭路26号
国籍：CN
代理机构：信息产业部电子专利中心
代理人：梁军
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