专利名称：微机械的电容式传感元件专利类型：发明专利
发明人：H·本泽尔,S·芬克拜纳,F·菲舍尔,H·博伊曼,L·梅茨
格,R·朔伊雷尔,P·布劳赫勒,A·福斯特尔,M·诺伊鲍尔
申请号：CN200580044292.8申请日：20051104公开号：CN101087999A公开日：20071212
摘要：本发明描述了一种用于产生微机械的传感元件的制造方法，该传感元件可以以单片可集成的结构形式被产生，并且具有物理量的电容性检测能力。除了所述制造方法，同样描述了一种微机械装置，所述装置包含这种传感元件，如例如压力传感器或者加速度传感器。
申请人：罗伯特·博世有限公司
地址：德国斯图加特
国籍：DE
代理机构：永新专利商标代理有限公司
代理人：曾立
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