专利名称：一种光刻机的光罩存放单元及光刻机专利类型：实用新型专利发明人：万峰,谢华
申请号：CN201820612307.0申请日：20180426公开号：CN208156410U公开日：20181127
摘要：本实用新型公开了一种光刻机的光罩存放单元及光刻机，光刻机的光罩存放单元包括光罩存放台，光罩存放台上设置有光罩支撑架和喷嘴支撑架，光罩存放单元连接一干燥净化装置，干燥净化装置接入干燥气。采用实用新型的技术方案降低了光罩存放单元的环境湿度，抑制了光罩雾化的生长速度，实现提高产品良率，避免了光罩送洗断线所造成的经济损失。
申请人：上海华力集成电路制造有限公司
地址：201315 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区康桥东路298号1幢1060室
国籍：CN
代理机构：上海申新律师事务所
代理人：俞涤炯
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