专利名称：一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置专利类型：实用新型专利发明人：李孟委,王宾
申请号：CN201621190924.3申请日：20161105公开号：CN206440239U公开日：20170825
摘要：本实用新型涉及一种高精度大量程双层纳米光栅微位移检测装置，所述微位移检测装置包括位移传感模块、处理单元、显示单元，所述位移传感模块通过所述处理单元连接所述显示单元；所述位移传感模块包括能相对移动的双层纳米光栅,所述双层纳米光栅包括可动纳米光栅阵列和固定纳米光栅，并所述可动纳米光栅阵列由多个纳米光栅区域拼接而成，并多个所述光栅区域间留有一定间距；所述处理单元包括一细分电路，所述细分电路可提高该光电探测器阵列输出信号的分辨率。本实用新型与现有微米级的光栅周期相比，其光栅周期更小，提高了光栅检测微位移的精度；通过采用拼接的纳米光栅阵列，量程更大；整体结构紧凑，微型化程度高，实用性更强。
申请人：中北大学
地址：030051 山西省太原市学院路3号
国籍：CN
代理机构：北京中济纬天专利代理有限公司
代理人：杨乐
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