专利名称：一种柔性金属铜薄膜的制备方法专利类型：发明专利发明人：赵荣荣,陈同来,柳伟申请号：CN201810756473.2申请日：20180711公开号：CN110718316A公开日：20200121
摘要：本发明公开一种柔性金属铜薄膜，具有如下结构：金属铜薄膜/无机固化膜，通过（1）采用磁控溅射法，将金属铜溅射至硬性衬底上；（2）采用涂敷法，将无机固化膜涂敷至金属铜薄膜表面；（3）烘箱中烘干后，采用直接剥离法，将金属铜薄膜/无机固化膜从硬性衬底上剥离出来；（4）获取的金属铜薄膜/无机固化膜可以直接贴服至任意衬底材料上，抑或单独使用。上述的金属铜薄膜，与现有的金属铜薄膜相比，具有使用灵便，粘附性好，有良好的机械性能等特点。
申请人：中国海洋大学
地址：266100 山东省青岛市崂山区松岭路238号
国籍：CN
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