（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201610528812.2 （22）申请日 2016.07.06 （71）申请人 南京理工大学
地址 210094 江苏省南京市玄武区孝陵卫200号
（10）申请公布号 CN106225679A
（43）申请公布日 2016.12.14
（72）发明人 马骏;王朕;朱日宏
（74）专利代理机构 南京理工大学专利中心
代理人 朱沉雁
（51）Int.CI
G01B11/02;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
一种基于白光干涉标定PZT位移量的方法
（57）摘要
本发明公开了一种基于白光干涉标定PZT
位移量的方法，涉及光干涉测量领域，方法步骤为：首先，搭建基于白光干涉标定PZT位移量的方法的实验装置：使PZT的顶面与靠体的顶面构成台阶面；其次调谐可调电压源，改变PZT两端的输入电压，通过白光干涉仪测量不同电压值处的台阶高，该电压值处的台阶高与0V电压处台阶高的差值，即是PZT对应的位移量；进而得到电
压上升和回程中PZT的动态位移曲线，达到标定PZT位移量的目的。该方法精度较高、操作方便、结构简单、实时性好，且成本低。
法律状态
法律状态公告日
2016-12-14 2016-12-14 2017-01-11 2017-01-11 2020-07-31
法律状态信息
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回法律状态
公开 公开
实质审查的生效 实质审查的生效
发明专利申请公布后的驳回
权利要求说明书
一种基于白光干涉标定PZT位移量的方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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