冷氢化技术在多晶硅生产中的应用
作 者：刘启豪
作者机构：四川大学化学工程学院
出 版 物：化工管理
年 卷 期：2016年 第11期
摘 要：多晶硅在生产过程中会产生SiCl4（STC）,而SiCl4会对导致环境破坏。利用氢化将SiCl4转化为SiHCl3（缩写为TCS）,可以使SiCl4得到有效的利用,降低环境污染对多晶硅的冷氢化闭合生产线进行了探讨,介绍了冷氢化工艺的特点以及对未来的冷氢化发展方向进行了简单分析。
页 码：124-页
主 题 词：多晶硅;冷氢化;闭合生产线
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