专利名称：一种电化学沉积设备及利用其进行沉积的方法专利类型：发明专利
发明人：郭伟民,黄迎春,廖成,李颖鑫,郑兴平,李世楚,毛良坤,
梅军,刘焕明
申请号：CN201210527974.6申请日：20121210公开号：CN103866357A公开日：20140618
摘要：本发明公开了一种电化学沉积设备及利用其进行沉积的方法，涉及电化学沉积技术领域。本发明电化学沉积设备包括电化学沉积槽以及设置于沉积槽内用于药液流动的至少一组管道，所述每组管道包括中心线相互平行的吸管和喷管，所述吸管和喷管上开有孔洞。本发明使用吸管吸取电化学沉积槽内的药液,配合喷管喷出补进电化学沉积槽内的药液来带动药液在工件表面的流动，使电化学沉积槽内的药液在工件表面具有均匀的药液流动速度，从而增加电化学沉积镀层的均匀性。
申请人：中物院成都科学技术发展中心
地址：610200 四川省成都市青羊区八宝街90号
国籍：CN
代理机构：四川力久律师事务所
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