专利名称:一种标定尺及利用该标定尺的位置标定方法专利类型:发明专利发明人:刘栋,张雷
申请号:CN202010125179.9申请日:20200227公开号:CN111221224A公开日:20200602
摘要:本发明公开了一种标定尺及利用该标定尺的位置标定方法,该标定尺为长条状,固定在工件台一侧,随工件台同步运动,标定尺的表面涂覆有感光材料,通过曝光,可以在感光材料上形成曝光标记,曝光后,随着时间的消逝,标记逐渐变淡,最终消失,由此可以在标定尺上重复进行曝光,实现重复利用。标定尺组装完毕后,固定到工件台一侧。与曝光相关的组件位置关系,可以通过在标定尺上曝光标记,通过测量工件台的位置获得相关位置关系。所采用的的移动机构只涉及工件台的移动机构,避免了多个移动机构之间的误差。
申请人:苏州源卓光电科技有限公司
地址:215026 江苏省苏州市工业园区汀兰巷192号C5幢102室
国籍:CN
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