（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201210455979.2 （22）申请日 2012.11.14
（71）申请人 杭州格林达化学有限公司
地址 311228 浙江省杭州市萧山区临江工业园区红十五路9936号
（10）申请公布号 CN102951761A
（43）申请公布日 2013.03.06
（72）发明人 魏任重;徐雅玲;黄源;尹云舰;连杰 （74）专利代理机构 南京苏科专利代理有限责任公司
代理人 陈忠辉
（51）Int.CI
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
光刻胶剥离液废液的回收方法
（57）摘要
本发明提供了一种光刻胶剥离液废液的回
收方法，特别是指将半导体基材上残留的光刻胶除去后的光刻胶剥离液废液的回收方法。本发明首先采用适量的水在酸性条件下分两个步骤沉淀光刻胶主要成分线性酚醛树脂，得到可再次作为光刻胶使用的线性酚醛树脂；然后利用活性炭吸附脱色并除去金属离子；最后经两步式减压蒸馏，除去水分等低沸物质，回收得到纯的光刻胶剥离液。该方法工艺简单，避免了使用昂贵的耐
有机溶剂过滤膜或过滤器，有利于工业化大规模回收光刻胶剥离液废液，降低光刻胶剥离液和光刻胶的使用成本。
法律状态
法律状态公告日
2013-03-06 2013-04-03 2015-02-11
法律状态信息
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
权利要求说明书
光刻胶剥离液废液的回收方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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