专利名称：MEMS压力传感器及其制作方法专利类型：发明专利发明人：柳连俊
申请号：CN201110061456.5申请日：20110315公开号：CN102156012A公开日：20110817
摘要：本发明提供一种MEMS压力传感器，包括：第一衬底，具有压阻式压力传感单元、电连线扩散层和所述第一衬底表面的第一粘合层；第二衬底，具有导体间介质层、位于所述导体间介质层中的导体连线层和/或所述第二衬底表面的第二粘合层；其中，所述第二衬底与第一衬底相对设置，通过第一粘合层和第二粘合层固定连接，所述第一粘合层与第二粘合层的图案对应并且均为导电材料。该MEMS压力传感器及其制作方法，能够与集成电路制造工艺兼容，有效地降低制作成本并减小传感器尺寸。
申请人：迈尔森电子(天津)有限公司
地址：300381 天津市南开区宾水西道奥城商业广场A3-518室
国籍：CN
代理机构：北京集佳知识产权代理有限公司
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