专利名称：一种蓝宝石晶片的清洗工艺专利类型：发明专利
发明人：徐晓强,彭璐,黄博,王全新,徐现刚申请号：CN201510628481.5申请日：20150928公开号：CN105280477A公开日：20160127
摘要：本发明公开了一种蓝宝石晶片的清洗工艺。该方法包括：先使用物理擦片配合超声方法去掉晶片表面大多数粘附性较强的油污和脏污，再用硫酸双氧水的混合溶液彻底清洗掉表面残留脏污，然后快排冲洗槽清洗，旋干或吹干。经本发明清洗的晶片表面洁净，无损伤，且实施效率极高。本发明可用于蓝宝石晶片GaN基LED芯片的外延层生长过程、PSS图形生长及管芯的前段制作过程的清洗。
申请人：山东浪潮华光光电子股份有限公司
地址：261061 山东省潍坊市高新区金马路9号
国籍：CN
代理机构：济南金迪知识产权代理有限公司
代理人：陈桂玲
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