专利名称：一种供气装置专利类型：实用新型专利发明人：常军
申请号：CN201822112431.3申请日：20181214公开号：CN209213472U公开日：20190806
摘要：本实用新型涉及气体输送技术领域，公开一种供气装置。其中供气装置包括控制总路、多条控制支路和总控机械手阀，所述控制总路包括气源和电控制阀组件，所述气源与所述电控制阀组件连接；各所述控制支路均包括依次串联的机械手阀、梭阀和气动控制阀，所述电控制阀组件与各所述控制支路的所述机械手阀相连，所述气源还与各所述控制支路上的所述机械手阀相连；所述总控机械手阀的输入口与所述气源相连，输出口与各所述控制支路上的所述梭阀相连。本实用新型的供气装置既能够使用电控制阀组件控制气源驱动气动控制阀打开，又能在断电或宕机时，手动开启机械手阀或总控机械手阀，气源通过各控制支路驱动气动控制阀打开，从而实现不间断供气。
申请人：上海正帆半导体设备有限公司,上海正帆科技股份有限公司
地址：201613 上海市松江区华哲路260弄10号
国籍：CN
代理机构：北京品源专利代理有限公司
代理人：胡彬
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