专利名称:一种维修检测装置专利类型:实用新型专利发明人:曹宇,裴晓光,赵海生申请号:CN201320446405.9申请日:20130725公开号:CN203365844U公开日:20131225
摘要:本实用新型实施例提供了一种维修检测装置,涉及显示面板生产技术领域,可在阵列基板维修过程中有效检测维修效果,从而减少不必要的损失;该维修检测装置包括光学设备、反应腔体、以及膜厚测试设备,膜厚测试设备用于测试维修薄膜的厚度。
申请人:北京京东方光电科技有限公司
地址:100176 北京市大兴区北京市经济技术开发区西环中路8号
国籍:CN
代理机构:北京中博世达专利商标代理有限公司
代理人:申健
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