专利名称:层叠膜的缺陷检查方法及其装置专利类型:发明专利发明人:大桥宏道,佐藤幸介申请号:CN200880000847.2申请日:20080812公开号:CN101548177A公开日:20090930
摘要:本发明提供层叠膜的缺陷检查方法及其装置。该方法包括:第1检查过程,检查被剥离了保护膜的膜主体的表面是否存在缺陷;分离膜除去过程,自检查后的层叠膜剥离分离膜;第2检查过程,一边沿着朝向纵向的膜行进路径引导被剥离除去了分离膜的膜主体、一边检查纵向姿态的膜主体是否存在缺陷,并存储检测数据;分离膜粘贴过程及保护膜粘贴过程,在检查完毕的膜主体的里面及表面上分别粘贴有分离膜及保护膜;膜回收过程,将粘贴有保护膜及分离膜的检查完毕的层叠膜卷成卷。
申请人:日东电工株式会社
地址:日本大阪府
国籍:JP
代理机构:北京林达刘知识产权代理事务所
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