专利名称：自动化系统专利类型：发明专利发明人：年四军,周杨
申请号：CN201310337167.2申请日：20130805公开号：CN103441088A公开日：20131211
摘要：本发明公开了一种自动化系统，包括光学字符识别装置、设备自动控制模块和标准机械界面装置，光学字符识别装置获取半导体设备上操作工选择的生产参数信息，并将该生产参数信息传送至设备自动控制模块，设备自动控制模块将该生产参数信息与标准参数信息进行比对，若两者一致，则控制标准机械界面装置将晶圆盒传送至半导体设备上，若两者不一致，则控制标准机械界面装置不动，从而通知操作工进行检查工作，避免了产品进行错误的工艺，也避免了产品的报废或者良率低的问题的发生，进而保证了产品的性能，提高了旧型半导体设备的使用率，提高了生产效率，降低了生产成本。
申请人：中航(重庆)微电子有限公司
地址：401331 重庆市沙坪坝区西永镇西永路367号四楼
国籍：CN
代理机构：上海申新律师事务所
代理人：竺路玲
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