专利名称：光酸发生剂及含有它的抗蚀剂组合物专利类型：发明专利
发明人：朱炫相,金三珉,安浩益,申珍奉,成耆珠申请号：CN201310573166.8申请日：20131115公开号：CN103819378A公开日：20140528
摘要：本发明提供一种能够抑制酸扩散从而降低线边缘粗糙度的下述化学式1的光酸发生剂及含有它的抗蚀剂组合物，化学式1在所述化学式1中，各取代基与说明书中所定义的相同。
申请人：锦湖石油化学株式会社
地址：韩国首尔
国籍：KR
代理机构：北京鸿元知识产权代理有限公司
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