专利名称：超薄透明介质膜厚度测量方法专利类型：发明专利发明人：冼亮
申请号：CN92111134.7申请日：19920929公开号：CN1071004A公开日：19930414
摘要：本发明涉及一种超薄透明介质膜厚度测量方法， 属长度计量技术领域。本测量方法采用的光路由光 源、反射棱镜、显微镜和光探测器组成，反射棱镜置于 被测透明介质薄膜上。光源发出的入射光进入反射 镜和透明介质膜后，返回反射棱镜，经反射棱镜反射 后的光线进入显微镜，随后进入光探测器。光探测器 获得的各点反射光强度与该点的介质膜厚有一定函 数关系，因而可根据各点反射光强度计算出该点透明 介质膜的厚度。
申请人：清华大学
地址：100084 北京市海淀区清华园
国籍：CN
代理机构：清华大学专利事务所
代理人：罗文群
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