专利名称：一种红外屏蔽功能薄膜的制备方法专利类型：发明专利发明人：陈路玉
申请号：CN201310549471.3申请日：20131107公开号：CN103643209A公开日：20140319
摘要：本发明公开了一种红外屏蔽功能薄膜的制备方法，包括：交流溅射硅铝旋转靶，在玻璃基板上磁控溅射SiN层；交流溅射掺铝氧化锌陶瓷，在SiN层上磁控溅射AZO层；直流溅射银平面靶，在AZO层上磁控溅射Ag层；交流溅射掺铝氧化锌陶瓷旋转靶，在Ag层上磁控溅射AZO层；直流溅射银平面靶，在AZO层上磁控溅射Ag层；交流溅射掺铝氧化锌陶瓷靶，在Ag层上磁控溅射AZO层；直流溅射银平面靶，在AZO层上磁控溅射Ag层；交流溅射掺铝氧化锌陶瓷旋转靶，在Ag层上磁控溅射AZO层；交流溅射硅铝旋转靶，在AZO层上磁控溅射SiN层。本发明目的提供一种工艺简单，操作方便，生产成本低的三银低辐射玻璃制备方法。
申请人：中山市创科科研技术服务有限公司
地址：528400 广东省中山市火炬开发区创业大厦229号
国籍：CN
代理机构：中山市铭洋专利商标事务所(普通合伙)
代理人：吴剑锋
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