（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201210230724.6 （22）申请日 2012.07.05 （71）申请人 中国科学技术大学
地址 230026 安徽省合肥市包河区金寨路96号
（10）申请公布号 CN102759932A
（43）申请公布日 2012.10.31
（72）发明人 侯振辉
（74）专利代理机构 中科专利商标代理有限责任公司
代理人 宋焰琴
（51）Int.CI
G05D13/62;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
多路气体质量流量计控制装置及控制方法
（57）摘要
本发明公开了一种多路气体质量流量计控
制装置和控制方法，用于控制多路气体的质量流量，包括现场总线模块和主控模块，所述主控模块与现场总线模块通过有线或无线方式连接，所述现场总线模块能够与多个气体质量流量计相连接，并接受所述主控模块的控制指令，根据该控制指令控制多个气体质量流量计输出的气体质量流量。本发明通过主控模块和现场总线模块的通
信实现了对多路气体质量流量计进行联合(或单独)精确控制，实现对多路气体进行任意流量比例的精确汇流或对单路气体进行任意流量比例的精确分流，提高了对气体流速的控制精度(优于1ml/min)，并可以实现自动增减气体流速。
法律状态
法律状态公告日
2012-10-31 2012-12-26 2014-05-14
法律状态信息
公开
实质审查的生效 授权
法律状态
公开
实质审查的生效 授权
权利要求说明书
多路气体质量流量计控制装置及控制方法的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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