低温容器氦质谱检漏工艺_百度文库

氦质谱检漏工艺

一、 内罐检漏（经冷冲击和气密试验合格后）

1、 去处内罐可能残留的水份；

2、 内罐组件上的引出管留一根管道连接真空泵以外，其余管道的

端部均用不锈钢板材封闭焊接；

3、 连接真空泵的管道焊接一个抽空阀门；

4、 清洁内罐管组件外表面灰尘；

5、 连接抽真空的真空泵和氦质谱检漏仪；

6、 启动真空泵对内罐抽真空；

7、 启动氦质谱检漏仪；

8、 调整氦质谱检漏仪至备机状态；

9、 先关闭抽空阀，检测抽空管路的密封性，仪器应无泄漏指示；

10、 确认抽空管路无漏后，重新开启抽空阀，对内罐继续抽空，直

至管内真空度基本稳定；

11、 开始正式检漏前，应确定施氦的方法并作好准备（如采用喷氦

法检漏，准备好氦气和喷枪。若是采用罩氦法检漏，应准备好罩袋或封带及其氦气供应管。）

12、 确认氦质谱检漏仪的仪器本底噪声后，调整好氦峰；

13、 启动灯丝，缓慢开启节流阀，缓慢地逐步关小真空泵前阀（如

果节流阀能全开和真空泵前阀全关的状态下，氦质谱仪仍然可以维持检漏所需要的真空，是最佳的检漏状态。如果无法维持检漏所需要的真空，则可适当开启真空泵前阀或适当关小氦质

谱仪上的节流阀，调整到质谱室内的真空度满足检漏要求为止。）

14、 节流阀和真空泵前阀调整好开度以后，记录系统的本底噪声；

15、 施氦，仔细观测仪表变化（也可开启蜂鸣器监听）

1） 如果喷氦法检漏，喷氦顺序应从最高的焊缝开始逐渐向下喷

氦；

2） 如果整体罩氦检漏，应尽可能去除氦罩内的空气后再施氦；

3） 如果以每条焊缝分别罩氦，可用宽度为（150～200）mm 塑

料带包裹住焊缝，边上用胶带封住，向围封范围内充氦。

16、 数据记录，数据记录内容包括：

1） 日期和时间，检测人员

2） 仪器状态（本底、氦峰、系统本底等）

3） 各焊缝的漏率

二、 整体检漏

1、 整体检漏在珠光砂装填结束和外壳防爆片安装完毕后进行；

2、 用抽空软管连接到抽真空阀，氦质谱仪通过三通连接到抽真空

管路；

3、 检漏仪调整方法与上述同；

4、 先检测内罐，向罐内充入氦气，观测漏率；

5、 确认内罐的无泄漏以后，再依次检测外罐的焊缝和管路引出处

等所有与真空夹套有关的的焊缝或其它连接处的漏率。