（12）发明专利申请
（21）申请号 CN201180002884.9 （22）申请日 2011.02.23
（71）申请人 住友电气工业株式会社
地址 日本大阪府大阪市
（10）申请公布号 CN102471929A
（43）申请公布日 2012.05.23
（72）发明人 佐佐木信;原田真;冲田恭子;宫崎富仁 （74）专利代理机构 中原信达知识产权代理有限责任公司
代理人 杨海荣
（51）Int.CI
C30B29/36; C30B33/00;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
碳化硅衬底
（57）摘要
第一圆形表面(11)包含具有第一形状的第
一凹口部(N1a)。第二圆形表面(21)与所述第一圆形表面对向且包含具有第二形状的第二凹口部(N2a)。侧面(31)将所述第一圆形表面(11)与所述第二圆形表面(21)彼此连接。所述第一凹口部(N1a)与所述第二凹口部(N2a)彼此对向。所述侧面(31)具有将所述第一凹口部(N1a)与所述第二凹
口部(N2a)彼此连接的第一凹陷部(Da)。
法律状态
法律状态公告日
法律状态信息
2012-05-23 公开
2012-07-04 实质审查的生效
2014-12-10
发明专利申请公布后的视为撤回
法律状态
公开
实质审查的生效
发明专利申请公布后的视为撤回
权利要求说明书
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说明书
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