专利名称：有机金属化合物专利类型：发明专利
发明人：S·赫里奇,J·松德迈尔,A·里瓦斯纳斯,O·布里奥,R·卡
奇,W·朔恩,A·弗雷,A·多皮乌,E·沃尔奈尔
申请号：CN201980065963.0申请日：20191128公开号：CN112805290A公开日：20210514
摘要：本发明涉及用于从[W(NtBu)(NHtBu)]开始制备根据通式[W(NtBu)(NRR)](I)的双(叔丁基酰亚胺基)双(二烷基酰胺基)钨化合物的两阶段合成。本发明还涉及根据受权利要求书保护的方法可获得的根据通式[W(NtBu)(NRR)](I)的化合物、根据通式[W(NtBu)(NRR)](I)的化合物([W(NtBu)(NMe)]和[W(NtBu)(NEtMe)]除外)、化合物[W(NtBu)(NRR)](I)的用途以及在表面上具有钨层或含钨层的衬底。通过所述方法，[W(NtBu)(NRR)](I)型的限定的双(叔丁基酰亚胺基)双(二烷基酰胺基)钨化合物可以容易地、经济地且可再现地以高纯度和良好收率制备。由于其高纯度，所述化合物适于制备具有钨层或含钨层的高质量衬底。
申请人：优美科股份公司及两合公司
地址：德国哈瑙-沃尔夫冈
国籍：DE
代理机构：中国贸促会专利商标事务所有限公司
代理人：刘学媛
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