专利名称：一种纳米压印复合模板的制备方法专利类型：发明专利发明人：赵常宁,史晓华申请号：CN201610089336.9申请日：20160217公开号：CN107092162A公开日：20170825
摘要：本发明公开了一种纳米压印复合模板的制备方法，包括以下步骤：1)母板的制备；2)溶液的准备；3)纳米压印复合模板的制备。本发明的纳米压印复合模板的制备方法，将硫一烯点击化学和POSS氟化物的优势结合起来，与传统的PDMS软模板相比，该软模板具有低表面张力、高脱模效率、高机械强度以及较高的热稳定性的特点，应用于压印模板可以得到很好的脱模效果以及大范围高精细的图形结构，不会产生图案歪斜的现象。
申请人：苏州光舵微纳科技股份有限公司
地址：215513 江苏省苏州市常熟市常熟经济技术开发区(四海路11号)科创园2号楼102
国籍：CN
代理机构：苏州华博知识产权代理有限公司
代理人：魏亮芳
更多信息请下载全文后查看
因篇幅问题不能全部显示，请点此查看更多更全内容