专利名称：一种端面处理装置专利类型：实用新型专利发明人：王威,安海岩,王虎申请号：CN201820911098.X申请日：20180613公开号：CN208293082U公开日：20181228
摘要：本实用新型公开了一种端面处理装置，包括按样品处理工艺依次连通的进样腔、预处理腔、解理腔和钝化腔，以及用于传送样品的第一传送机构、第二传送机构和第三传送机构；进样腔、预处理腔和第一传送机构均设置有两个，能够满足两轮样品分别存放的要求，在上一轮样品处理过程中可以进行下一轮样品的加热烘烤，节省了两轮工艺间的等待时间，显著缩短系列工艺过程中的时间成本，提升整机使用效率，提高设备产能。两个进样腔结构相同，均包括腔体、样品台和进样加热装置，通过进样加热装置对样品进行高温烘烤，可以去除样品上依附的空气中的水汽和杂质，减少外界环境杂质对真空腔室的污染。
申请人：武汉锐晶激光芯片技术有限公司
地址：430000 湖北省武汉市未来科技城A5北C1栋902室
国籍：CN
代理机构：北京众达德权知识产权代理有限公司
代理人：刘杰
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